| 摘要 | 第11-12页 |
| ABSTRACT | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第14-25页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.2 国内外研究现状及应用 | 第16-23页 |
| 1.2.1 国内外理论研究现状 | 第16-17页 |
| 1.2.2 国内外液体静压导轨在超精密机床上的应用现状 | 第17-20页 |
| 1.2.3 计算机控制光学表面加工技术的研究及应用现状 | 第20-23页 |
| 1.2.4 研究思路 | 第23页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 基于可加工性的液体静压导轨设计优化 | 第25-48页 |
| 2.1 液体静压导轨结构设计优化 | 第25-32页 |
| 2.1.1 液体静压导轨的分类 | 第25-28页 |
| 2.1.2 液体静压导轨的结构优化设计原则 | 第28页 |
| 2.1.3 国内外典型液体静压导轨的结构形式 | 第28-32页 |
| 2.2 具备CCOS可加工性的液体静压导轨结构设计优化与分析 | 第32-37页 |
| 2.2.1 具备可加工性的液体静压导轨结构设计优化 | 第32-34页 |
| 2.2.2 结构改进后的液体静压导轨理论受力分析与优化 | 第34-36页 |
| 2.2.3 结构改进前后的溜板部分承载变形仿真 | 第36-37页 |
| 2.3 单支承单元支承理论 | 第37-44页 |
| 2.3.1 单支承单元的基本工作原理 | 第37-38页 |
| 2.3.2 单矩形平面支承单元压力分布和有效承载面积 | 第38-39页 |
| 2.3.3 节流方式选择 | 第39-40页 |
| 2.3.4 液体静压支承的节流比 β_0和液阻比 λ_0 | 第40-42页 |
| 2.3.5 小孔节流式单矩形油垫的承载能力和刚度 | 第42-44页 |
| 2.4 对置油垫双向静压支承设计优化 | 第44-47页 |
| 2.4.1 对置油垫双向静压支承的原理 | 第44页 |
| 2.4.2 小孔节流对置油垫双向静压支承的承载能力和刚度 | 第44-47页 |
| 2.5 导轨核心参数设计 | 第47页 |
| 2.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第三章 液体静压导轨承载性能及流场分布规律有限元仿真分析 | 第48-59页 |
| 3.1 液体静压导轨有限元仿真模型建立 | 第48-49页 |
| 3.1.1 静压导轨的模型 | 第48-49页 |
| 3.1.2 流场模型的建立和网格划分 | 第49页 |
| 3.2 仿真参数设置及仿真收敛判定 | 第49-53页 |
| 3.2.1 仿真参数设置 | 第49-52页 |
| 3.2.2 收敛判定 | 第52-53页 |
| 3.3 仿真结果分析 | 第53-58页 |
| 3.3.1 流场流速分布 | 第53页 |
| 3.3.2 流场压力分布 | 第53-54页 |
| 3.3.3 油膜表面压力分布 | 第54-55页 |
| 3.3.4 油膜表面对称轴线压力分布 | 第55-56页 |
| 3.3.5 单对对置等面积油垫无量纲承载能力系数和无量纲油膜刚度 | 第56-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 液体静压导轨核心零部件CCOS加工工艺研究 | 第59-79页 |
| 4.1 液体静压导轨结构 | 第59-60页 |
| 4.2 核心零部件加工精度分配 | 第60-66页 |
| 4.2.1 加工精度分配原则 | 第60页 |
| 4.2.2 单滑块加工精度分配原理 | 第60-63页 |
| 4.2.3 双滑块加工精度分配原理 | 第63-66页 |
| 4.3 核心零部件总体加工工艺流程 | 第66-67页 |
| 4.4 CCOS研磨修形基础理论 | 第67-69页 |
| 4.4.1 CCOS技术的基本思想 | 第67页 |
| 4.4.2 CCOS技术的理论基础 | 第67-69页 |
| 4.5 典型金属材料平面研磨工艺实验 | 第69-72页 |
| 4.5.1 加工对象及测量设备 | 第69-70页 |
| 4.5.2 实验件初始面形和研磨材料 | 第70-71页 |
| 4.5.3 迭代修形后面形检测结果 | 第71-72页 |
| 4.6 边缘效应抑制工艺研究 | 第72-78页 |
| 4.6.1 边缘效应形成的原因 | 第72-75页 |
| 4.6.2 大研抛盘抑制边缘效应的原理 | 第75-77页 |
| 4.6.3 大研抛盘抑制边缘效应加工的实验结果 | 第77-78页 |
| 4.7 本章小结 | 第78-79页 |
| 第五章 液体静压导轨装配方案研究及承载能力测试 | 第79-86页 |
| 5.1 液体静压导轨核心零部件装配方案研究 | 第79-83页 |
| 5.1.1 核心零部件预装配和精度测量 | 第79-81页 |
| 5.1.2 核心零部件整体装配工艺 | 第81-83页 |
| 5.2 液体静压导轨承载能力测试 | 第83-85页 |
| 5.2.1 实验系统搭建及实验步骤 | 第83-84页 |
| 5.2.2 实验数据处理与分析 | 第84-85页 |
| 5.3 本章小结 | 第85-86页 |
| 第六章 总结与展望 | 第86-88页 |
| 6.1 全文总结 | 第86-87页 |
| 6.2 研究展望 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-92页 |
| 作者在学期间取得的学术成果 | 第92页 |
