原子层沉积技术制备氧化锌纳米薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 透明导电氧化物薄膜概述 | 第9-12页 |
| 1.3 氧化锌结构和基本性质 | 第12-17页 |
| 1.4 课题的意义及论文主要工作 | 第17-19页 |
| 2 原子层沉积实验设备 | 第19-27页 |
| 2.1 原子层沉积原理概述 | 第19-21页 |
| 2.2 原子层沉积腔体 | 第21-22页 |
| 2.3 温度控制系统介绍 | 第22-25页 |
| 2.4 微石英天平系统介绍 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 3 氧化锌薄膜沉积及性能 | 第27-36页 |
| 3.1 研究沉积工艺对薄膜沉积速率的影响 | 第27-29页 |
| 3.2 研究沉积工艺对薄膜性能的影响 | 第29-34页 |
| 3.3 本章小结 | 第34-36页 |
| 4 铝掺杂氧化锌薄膜沉积及性能 | 第36-55页 |
| 4.1 铝掺杂氧化锌概述 | 第36-37页 |
| 4.2 氧化铝薄膜沉积工艺 | 第37-46页 |
| 4.3 铝掺杂氧化锌薄膜沉积工艺 | 第46-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-55页 |
| 5 基于铝掺杂氧化锌及氧化锌薄膜应用性能测量 | 第55-60页 |
| 5.1 氧化锌基薄膜的应用设计 | 第55-56页 |
| 5.2 氧化锌基薄膜测试器件制备 | 第56页 |
| 5.3 二氧化钛外量子效率的性能测试 | 第56-58页 |
| 5.4 氧化锌表面光电流测试 | 第58-59页 |
| 5.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 6 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 全文总结 | 第60-61页 |
| 6.2 展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文与专利 | 第68页 |
