| 摘要 | 第3-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 符号说明 | 第12-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-43页 |
| 1.1 课题来源 | 第19页 |
| 1.2 课题的研究意义 | 第19-24页 |
| 1.3 国内外研究现状综述 | 第24-39页 |
| 1.3.1 CVD金刚石薄膜的沉积技术研究 | 第24-30页 |
| 1.3.2 CVD金刚石薄膜的摩擦学性能研究 | 第30-35页 |
| 1.3.3 HFCVD金刚石薄膜沉积温度场和流场的试验及仿真研究 | 第35-38页 |
| 1.3.4 CVD金刚石薄膜在耐磨减摩器件内孔中的应用 | 第38-39页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第39-43页 |
| 第二章 高性能HFCVD金刚石薄膜的制备及性能表征 | 第43-67页 |
| 2.1 引言 | 第43-44页 |
| 2.2 碳源种类对MCD薄膜形核、生长及性能表征的影响研究 | 第44-56页 |
| 2.2.1 沉积试验 | 第44-46页 |
| 2.2.2 性能表征 | 第46-52页 |
| 2.2.3 碳源的影响机理分析 | 第52-56页 |
| 2.3 高性能复合金刚石薄膜的制备及性能表征 | 第56-66页 |
| 2.3.1 改进的动态硼掺杂工艺 | 第56-57页 |
| 2.3.2 MCD、BDD、FGD及复合金刚石薄膜的制备 | 第57-59页 |
| 2.3.3 不同类型金刚石薄膜的性能表征 | 第59-66页 |
| 2.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第三章 HFCVD金刚石薄膜的摩擦学性能研究 | 第67-119页 |
| 3.1 引言 | 第67-69页 |
| 3.2 HFCVD金刚石薄膜的冲蚀磨损试验及分析理论 | 第69-72页 |
| 3.3 HFCVD金刚石薄膜的冲蚀磨损性能及机理 | 第72-96页 |
| 3.3.1 BDD、FGD及MCD薄膜的冲蚀磨损性能及机理 | 第72-78页 |
| 3.3.2 不同基体BDD薄膜的冲蚀磨损性能及机理 | 第78-83页 |
| 3.3.3 不同厚度BDD和MCD薄膜的冲蚀磨损性能及机理 | 第83-93页 |
| 3.3.4 高性能复合金刚石薄膜的冲蚀磨损性能及机理 | 第93-95页 |
| 3.3.5 碳源对MCD薄膜冲蚀磨损性能的影响 | 第95-96页 |
| 3.4 HFCVD金刚石薄膜的标准摩擦磨损性能及机理研究 | 第96-106页 |
| 3.4.1 高性能复合金刚石薄膜和金属材料对摩的摩擦特性 | 第97-101页 |
| 3.4.2 高性能复合金刚石薄膜和氮化硅对摩的磨损性能 | 第101-103页 |
| 3.4.3 碳源对MCD薄膜摩擦磨损特性的影响 | 第103-106页 |
| 3.5 HFCVD金刚石薄膜的应用摩擦磨损性能研究 | 第106-117页 |
| 3.5.1 高性能复合金刚石薄膜的应用摩擦磨损性能 | 第107-109页 |
| 3.5.2 碳源对MCD薄膜应用摩擦磨损性能的影响 | 第109-110页 |
| 3.5.3 基于摩擦学试验的内孔金刚石薄膜沉积参数正交优化方法 | 第110-117页 |
| 3.6 本章小结 | 第117-119页 |
| 第四章 内孔沉积HFCVD金刚石薄膜的物理场分布研究 | 第119-153页 |
| 4.1 引言 | 第119-120页 |
| 4.2 内孔HFCVD设备及金刚石薄膜沉积原理 | 第120-122页 |
| 4.3 内孔沉积HFCVD金刚石薄膜的温度场和气场分布研究 | 第122-144页 |
| 4.3.1 温度场和气场分布的仿真理论 | 第122-124页 |
| 4.3.2 仿真计算模型的构建 | 第124-125页 |
| 4.3.3 材料定义及边界条件设定 | 第125-126页 |
| 4.3.4 单基体仿真结果分析 | 第126-135页 |
| 4.3.5 双基体仿真结果分析及沉积对照试验 | 第135-144页 |
| 4.4 产业化沉积装置中基体排布方式的优化 | 第144-152页 |
| 4.5 本章小结 | 第152-153页 |
| 第五章 HFCVD金刚石薄膜涂层拉拔模具的制备及应用 | 第153-177页 |
| 5.1 引言 | 第153-155页 |
| 5.2 BD-UM-FGCD薄膜涂层圆孔模具的制备及应用 | 第155-159页 |
| 5.2.1 BD-UM-FGCD薄膜涂层铝塑复合管拉拔模的制备及表征 | 第155-159页 |
| 5.3 BD-UM-FGCD薄膜涂层铝塑复合管拉拔模的应用 | 第159-162页 |
| 5.4 小孔径内孔涂层技术及应用 | 第162-166页 |
| 5.4.1 小孔径内孔涂层工艺 | 第162-165页 |
| 5.4.2 BD-UM-FGCD薄膜涂层小孔径模具的应用 | 第165-166页 |
| 5.5 超大孔径内孔涂层技术及应用 | 第166-169页 |
| 5.5.1 超大孔径内孔涂层工艺 | 第166-168页 |
| 5.5.2 BD-UM-FGCD薄膜涂层超大孔径模具的应用 | 第168-169页 |
| 5.6 BDD薄膜涂层异型拉拔模的制备及应用 | 第169-175页 |
| 5.6.1 BDD薄膜涂层异型模的制备工艺 | 第169-172页 |
| 5.6.2 BDD薄膜涂层异型模的表征 | 第172-174页 |
| 5.6.3 BDD薄膜涂层异型模的应用试验 | 第174-175页 |
| 5.7 本章小结 | 第175-177页 |
| 第六章 HFCVD金刚石薄膜在耐冲蚀磨损器件内孔中的应用 | 第177-195页 |
| 6.1 引言 | 第177-178页 |
| 6.2 BD-UCD薄膜涂层喷嘴的制备及应用 | 第178-187页 |
| 6.2.1 BD-UCD薄膜涂层喷嘴的制备工艺 | 第178-181页 |
| 6.2.2 BD-UCD薄膜涂层喷嘴的表征 | 第181-183页 |
| 6.2.3 BD-UCD薄膜涂层喷嘴的应用试验 | 第183-187页 |
| 6.3 甲烷-MCD薄膜涂层煤液化减压调节阀阀座的制备及应用 | 第187-192页 |
| 6.3.1 煤液化减压调节阀整体结构的优化设计 | 第187-189页 |
| 6.3.2 甲烷-MCD薄膜涂层阀座的制备及表征 | 第189-192页 |
| 6.3.3 应用试验 | 第192页 |
| 6.4 本章小结 | 第192-195页 |
| 第七章 总结与展望 | 第195-201页 |
| 7.1 本文主要完成的工作和结论 | 第195-199页 |
| 7.2 本文主要的创新点 | 第199-200页 |
| 7.3 下一步研究工作 | 第200-201页 |
| 参考文献 | 第201-215页 |
| 攻读博士学位期间公开发表或录用的论文 | 第215-218页 |
| 攻读博士学位期间公开授权或申请的发明专利 | 第218-219页 |
| 攻读博士学位期间获得的奖励 | 第219-221页 |
| 致谢 | 第221-223页 |
| 附件：应用报告 | 第223-231页 |
