大气压脉冲调制射频放电中活性粒子演化特性的数值模拟研究
| 摘要 | 第8-10页 |
| ABSTRACT | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第12-19页 |
| 1.1 等离子体概念 | 第12页 |
| 1.2 等离子体分类 | 第12-13页 |
| 1.3 大气压辉光放电 | 第13-18页 |
| 1.3.1 射频容性放电 | 第14-16页 |
| 1.3.2 微等离子体放电 | 第16-17页 |
| 1.3.3 脉冲调制放电 | 第17-18页 |
| 1.4 本文内容安排 | 第18-19页 |
| 第2章 理论模型 | 第19-24页 |
| 2.1 流体模拟的概念 | 第19页 |
| 2.2 流体模拟的方程描述 | 第19-21页 |
| 2.3 功率与功率密度的计算 | 第21-24页 |
| 第3章 大气压射频氦气放电的间隙优化 | 第24-36页 |
| 3.1 以功率(功率密度)为输入参数的流体模型 | 第24-26页 |
| 3.2 40.68MHz下最优间隙的选择 | 第26-33页 |
| 3.2.1 宏观电特性随间隙的演化 | 第26-28页 |
| 3.2.2 电子密度和电子温度随间隙的演化 | 第28-33页 |
| 3.3 不同频率下最优间隙的选择 | 第33-34页 |
| 3.4 小结 | 第34-36页 |
| 第4章 大气压氦氧低频脉冲调制放电 | 第36-49页 |
| 4.1 仿真模型与放电参数的设置 | 第36-39页 |
| 4.1.1 脉冲调制放电的流体模型 | 第36-37页 |
| 4.1.2 放电参数的设置 | 第37-39页 |
| 4.2 脉冲参数对放电特性的影响 | 第39-42页 |
| 4.2.1 宏观电流随占空比和调制频率的演化特性 | 第39-40页 |
| 4.2.2 微观电子密度和电子温度的演化特性 | 第40-42页 |
| 4.3 脉冲参数对活性氧粒子的影响 | 第42-47页 |
| 4.3.1 基态氧原子的演化特性 | 第42-44页 |
| 4.3.2 激发态氧原子和SDO的演化特性 | 第44-46页 |
| 4.3.3 O_3和O~-的演化特性 | 第46-47页 |
| 4.4 小结 | 第47-49页 |
| 第5章 大气压氦氧高频脉冲调制放电 | 第49-62页 |
| 5.1 电流的异常 | 第49-54页 |
| 5.1.1 首个强电流的出现 | 第49-50页 |
| 5.1.2 强电流出现的原因 | 第50-54页 |
| 5.2 占空比对放电特性的影响 | 第54-60页 |
| 5.2.1 电子密度和电子温度的演化特性 | 第54-58页 |
| 5.2.2 活性粒子的演化特性 | 第58-60页 |
| 5.3 小结 | 第60-62页 |
| 第6章 结论与展望 | 第62-64页 |
| 6.1 结论 | 第62-63页 |
| 6.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第71-72页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第72页 |
