| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7页 |
| 1 绪言 | 第11-25页 |
| 1.1 衍射极限 | 第11-12页 |
| 1.1.1 衍射现象 | 第11-12页 |
| 1.2 超分辨成像技术的研究现状 | 第12-17页 |
| 1.2.1 近场扫描光学显微技术 | 第12-14页 |
| 1.2.2 荧光标记扫描超分辨成像技术 | 第14-15页 |
| 1.2.3 超振荡透镜显微成像技术 | 第15-17页 |
| 1.3 表面等离子体超衍射成像与光刻 | 第17-23页 |
| 1.3.1 表面等离子体研究背景与概况 | 第17-18页 |
| 1.3.2 表面等离子体发展现状 | 第18-23页 |
| 1.4 拟解决的关键问题 | 第23-24页 |
| 1.5 论文研究内容及章节安排 | 第24-25页 |
| 2 表面等离子体研究理论与基础 | 第25-39页 |
| 2.1 表面等离子体存在的基本条件 | 第25-27页 |
| 2.2 表面等离子体的经典电磁理论 | 第27-31页 |
| 2.2.1 金属材料Drude模型 | 第28-29页 |
| 2.2.2 表面等离子体的色散特性 | 第29-30页 |
| 2.2.3 表面等离子体的特征参数 | 第30-31页 |
| 2.3 表面等离子体的数值计算方法 | 第31-37页 |
| 2.3.1 严格耦合波分析法 | 第31-35页 |
| 2.3.2 有限元法 | 第35-36页 |
| 2.3.3 吸收边界条件 | 第36-37页 |
| 2.4 本章小结 | 第37-39页 |
| 3 基于表面等离子体共振腔的超分辨相衬成像方法研究 | 第39-49页 |
| 3.1 超分辨相衬成像研究背景 | 第39-40页 |
| 3.2 Hyperlens原理介绍 | 第40-41页 |
| 3.3 Hyperlens的相衬成像 | 第41-44页 |
| 3.3.1 结构设计 | 第41-42页 |
| 3.3.2 Hyperlens的相衬成像原理 | 第42-44页 |
| 3.4 基于SP共振腔的Hyperlens相衬成像特征研究 | 第44-48页 |
| 3.4.1 折射率差分辨力 | 第44-45页 |
| 3.4.2 空间分辨率和远场放大成像效应 | 第45-47页 |
| 3.4.3 球形超透镜的相衬成像 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 4 基于表面等离子体共振腔的SP波成像光刻方法研究 | 第49-59页 |
| 4.1 表面等离子体波的激发方式 | 第49-50页 |
| 4.2 表面等离子体共振腔对于提高成像光刻对比度的理论分析 | 第50-52页 |
| 4.3 基于表面等离子体共振腔的SP波照明光刻特征研究 | 第52-58页 |
| 4.3.1 结构设计 | 第52-55页 |
| 4.3.2 成像光刻特征研究 | 第55-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 5 结束语 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第67页 |
