| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 同步辐射光源的发展 | 第9页 |
| 1.2 上海光源 | 第9-13页 |
| 1.2.1 上海同步辐射光源概况 | 第9-11页 |
| 1.2.2 上海光源硬X射线微聚焦及应用光束线站 | 第11-13页 |
| 1.3 同步辐射微纳探针技术 | 第13-16页 |
| 1.3.1 纳米探针的应用前景 | 第13页 |
| 1.3.2 X射线微纳聚焦方法 | 第13-15页 |
| 1.3.3 压弯非球面反射聚焦镜 | 第15-16页 |
| 1.4 研究内容与方案 | 第16-20页 |
| 1.4.1 研究内容与相关进展 | 第16-17页 |
| 1.4.2 有限元分析软件的选择 | 第17-18页 |
| 1.4.3 Solidworks Simulation功能模块及几何非线性分析简介 | 第18-20页 |
| 第二章 非球面压弯镜系统的设计 | 第20-28页 |
| 2.1 压弯镜的设计 | 第20-25页 |
| 2.1.1 非球面镜几何精确压弯理论 | 第20-23页 |
| 2.1.2 镜体参数的设计 | 第23-25页 |
| 2.2 压弯机构的设计 | 第25-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 压弯系统的有限元分析及镜体宽度的优化 | 第28-50页 |
| 3.1 压弯系统的有限元分析过程 | 第28-36页 |
| 3.1.1 模型的建立与简化 | 第28-30页 |
| 3.1.2 约束与载荷的添加 | 第30-31页 |
| 3.1.3 网格的划分 | 第31-36页 |
| 3.2 压弯系统的有限元分析结果 | 第36-40页 |
| 3.3 镜体宽度的优化 | 第40-43页 |
| 3.4 本文中有限元分析方法的分析验证 | 第43-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 压弯系统的样机测试 | 第50-59页 |
| 4.1 压弯样机的离线测试 | 第50-55页 |
| 4.1.1 LTP-1200 型长程面形仪简介 | 第50-51页 |
| 4.1.2 样机的离线测试结果 | 第51-55页 |
| 4.2 压弯样机的在线测试 | 第55-58页 |
| 4.3 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-62页 |
| 参考文献 | 第62-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第67页 |