新型微纳米热压印系统及其应用研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 常用微结构加工与制备方法 | 第9-14页 |
| 1.1.1 极紫外光刻技术(EUVL) | 第9-10页 |
| 1.1.2 聚焦电子束曝光技术 | 第10-11页 |
| 1.1.3 聚焦离子束曝光技术 | 第11-12页 |
| 1.1.4 纳米压印技术 | 第12-14页 |
| 1.2 主要研究工作 | 第14-17页 |
| 2 纳米热压印原理及系统 | 第17-25页 |
| 2.1 纳米热压印原理 | 第17-21页 |
| 2.1.1 热压印原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 高温下聚合物挤压原理 | 第18-21页 |
| 2.2 纳米热压印系统简介 | 第21页 |
| 2.3 纳米热压印工艺介绍 | 第21-25页 |
| 2.3.1 模具制备 | 第21-22页 |
| 2.3.2 样品制备 | 第22-23页 |
| 2.3.3 压印 | 第23页 |
| 2.3.4 脱模 | 第23-25页 |
| 3 纳米压印新技术研究及系统研制 | 第25-43页 |
| 3.1 纳米压印的新技术 | 第25-26页 |
| 3.2 机械系统的设计及制备 | 第26-31页 |
| 3.2.1 机械系统设计 | 第26-29页 |
| 3.2.2 机械加工制备 | 第29-31页 |
| 3.3 控制回路 | 第31-36页 |
| 3.3.1 控制回路的构成 | 第31-32页 |
| 3.3.2 传感器网络搭建 | 第32-36页 |
| 3.4 电路与通讯部分 | 第36-40页 |
| 3.4.1 通讯与电路解决方案设计 | 第37-38页 |
| 3.4.2 通讯与电路系统研制 | 第38-40页 |
| 3.5 软件与算法设计 | 第40-43页 |
| 4 纳米热压印系统性能测试与应用研究 | 第43-59页 |
| 4.1 性能测试 | 第43-45页 |
| 4.2 应用研究 | 第45-59页 |
| 4.2.1 薄膜金属玻璃应用研究 | 第45-56页 |
| 4.2.2 大块金属玻璃应用研究 | 第56-58页 |
| 4.2.3 甩带金属玻璃应用研究 | 第58-59页 |
| 5 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 个人简介 | 第65页 |
| 硕士期间发表的论文与专利 | 第65-66页 |
