| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 太阳能电池的种类 | 第15-18页 |
| 1.2.1 晶硅太阳能电池 | 第15-16页 |
| 1.2.2 硅系薄膜太阳能电池 | 第16页 |
| 1.2.3 无机化合物薄膜太阳能电池 | 第16-17页 |
| 1.2.4 几种太阳能电池优缺点对比 | 第17-18页 |
| 1.3 ZnO的结构及本征缺陷 | 第18-21页 |
| 1.3.1 ZnO的晶体结构 | 第18-20页 |
| 1.3.2 本征ZnO缺陷 | 第20-21页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第21-28页 |
| 1.4.1 ZnO的n型掺杂 | 第21-22页 |
| 1.4.2 ZnO的Eu元素掺杂 | 第22-24页 |
| 1.4.3 ZnO的p型掺杂 | 第24-26页 |
| 1.4.4 ZnO太阳能电池的研究现状 | 第26-28页 |
| 1.5 本文的主要思路及研究内容 | 第28-29页 |
| 1.5.1 本文主要研究思路及方法 | 第28-29页 |
| 1.5.2 本文主要研究内容 | 第29页 |
| 1.6 本章小结 | 第29-30页 |
| 第二章 ZnO的掺杂改性第一性原理研究 | 第30-70页 |
| 2.1 n型掺杂ZnO的第一性原理研究 | 第30-48页 |
| 2.1.1 第一性原理方法及密度泛函理论简介 | 第30-32页 |
| 2.1.2 In/Al掺杂的电学性质对比研究 | 第32-37页 |
| 2.1.3 Al掺杂浓度对AZO结构光电特性的影响 | 第37-44页 |
| 2.1.4 单轴应力下Al掺杂ZnO的光电特性研究 | 第44-48页 |
| 2.2 ZnO的p型掺杂探究 | 第48-62页 |
| 2.2.1 Ⅰ族元素Li,Na,K的ZnO掺杂改性 | 第48-52页 |
| 2.2.2 Ag掺杂ZnO的p型转化研究 | 第52-56页 |
| 2.2.3 Al-N共掺的ZnO半导体p型转化 | 第56-62页 |
| 2.3 ZnO的Eu元素掺杂光电特性研究 | 第62-67页 |
| 2.3.1 Eu的掺入对Al掺杂ZnO光电特性的影响 | 第62-65页 |
| 2.3.2 Eu的掺入对Al-2N共掺ZnO光电特性的影响 | 第65-67页 |
| 2.4 本章小结 | 第67-70页 |
| 第三章 ZnO的n型和p型掺杂薄膜关键工艺参数研究 | 第70-108页 |
| 3.1 磁控溅射镀膜设备及操作流程简介 | 第70-73页 |
| 3.2 n型Al掺ZnO薄膜关键工艺参数研究 | 第73-92页 |
| 3.2.1 溅射功率对Al掺ZnO薄膜性质的影响 | 第73-85页 |
| 3.2.2 工作压强对Al掺ZnO薄膜性质的影响 | 第85-88页 |
| 3.2.3 衬底温度对AZO薄膜光电特性的影响 | 第88-92页 |
| 3.3 不同衬底及温度对Eu,Al共掺ZnO薄膜性质的影响 | 第92-98页 |
| 3.3.1 不同衬底温度及衬底类型的Eu,Al共掺ZnO薄膜电特性测试 | 第93-94页 |
| 3.3.2 衬底温度及衬底类型上Eu,Al共掺ZnO薄膜的结晶质量测试分析 | 第94-96页 |
| 3.3.3 ITO衬底上Eu,Al共掺ZnO薄膜表面形貌分析 | 第96-98页 |
| 3.3.4 ITO衬底上Eu,Al共掺ZnO薄膜光学特性分析 | 第98页 |
| 3.4 ZnO的Al,N共掺p型薄膜制备 | 第98-106页 |
| 3.4.1 ZnO的p型共掺机理探讨 | 第98-100页 |
| 3.4.2 Al,N共掺的p型ZnO薄膜电学和光学特性 | 第100-106页 |
| 3.5 本章小结 | 第106-108页 |
| 第四章 ZnO太阳能电池中间层和电极对光伏性能的影响 | 第108-122页 |
| 4.1 太阳能电池器件的结构原理 | 第108-111页 |
| 4.1.1 肖特基太阳能电池 | 第108-109页 |
| 4.1.2 双层太阳能电池 | 第109-110页 |
| 4.1.3 太阳能电池性能参数 | 第110-111页 |
| 4.2 ITO/p-ZnO:Al-N /n-AZO同质结太阳能电池的制备 | 第111-113页 |
| 4.2.1 ITO/p-ZnO:Al-N/n-AZO太阳能电池结构设计及制备 | 第111-112页 |
| 4.2.2 ITO/p-ZnO:Al-N/纯ZnO/n-AZO太阳能电池结构设计及制备 | 第112-113页 |
| 4.2.3 ITO/p-ZnO:Al-N/ZnO:Eu,Al/n-AZO太阳能电池结构设计及制备 | 第113页 |
| 4.3 ZnO同质结太阳能电池光电转换率的表征研究 | 第113-115页 |
| 4.4 中间层对p型硅/n型AZO异质结太阳能电池的影响 | 第115-116页 |
| 4.4.1 p-Si/n-AZO异质结太阳能电池不同中间层的结构设计及制备 | 第115页 |
| 4.4.2 p-Si/n-AZO异质结太阳能电池光伏性能测试及分析 | 第115-116页 |
| 4.5 前电极对p-Si/Eu,Al共掺ZnO/n-AZO太阳能电池光伏性能的影响研究 | 第116-121页 |
| 4.5.1 金属前电极对p-Si/Eu,Al共掺ZnO/n-AZO太阳能电池光伏性能的影响研究 | 第116-118页 |
| 4.5.2 OMO结构前电极对p-Si/ZnO:Eu,Al/n-AZO太阳能电池光伏性能影响 | 第118-121页 |
| 4.6 本章小结 | 第121-122页 |
| 第五章 总结与展望 | 第122-126页 |
| 5.1 本文工作总结 | 第122-123页 |
| 5.2 本文的创新点 | 第123-124页 |
| 5.3 下一步工作展望 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-139页 |
| 致谢 | 第139-140页 |
| 攻读博士期间的研究成果、科研项目 | 第140-142页 |
