强电磁波激发等离子体中外加偏压的影响研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 放电物理的研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.3 本文主要工作和结构安排 | 第13-14页 |
| 第二章 气体放电基础 | 第14-32页 |
| 2.1 气体放电的理论基础 | 第14-19页 |
| 2.1.1 微观分析 | 第14-15页 |
| 2.1.2 带电粒子的运动 | 第15-19页 |
| 2.1.2.1 带电粒子在电场中的运动 | 第15-17页 |
| 2.1.2.2 带电粒子在磁场中的运动 | 第17-19页 |
| 2.2 放电气体中的等离子体 | 第19-22页 |
| 2.2.1 等离子体的整体特性 | 第19-20页 |
| 2.2.2 等离子体的振荡 | 第20-22页 |
| 2.2.3 等离子体的鞘层 | 第22页 |
| 2.3 气体的放电现象 | 第22-25页 |
| 2.3.1 汤森放电区 | 第23页 |
| 2.3.2 电晕放电 | 第23-24页 |
| 2.3.3 辉光放电 | 第24-25页 |
| 2.4 气体击穿 | 第25-28页 |
| 2.4.1 帕邢定律与最小击穿电压 | 第25-27页 |
| 2.4.2 普适帕邢曲线 | 第27-28页 |
| 2.4.3 高气压下的击穿 | 第28页 |
| 2.5 等离子体诊断技术 | 第28-30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 直流放电仿真与实验 | 第32-49页 |
| 3.1 气体中的直流放电的仿真研究 | 第32-39页 |
| 3.1.1 直流放电模型的建立 | 第33-34页 |
| 3.1.2 直流放电模型的理论部分 | 第34-35页 |
| 3.1.3 直流放电仿真的结果与分析 | 第35-39页 |
| 3.2 直流放电的实验研究 | 第39-47页 |
| 3.2.1 三探针检测器实验系统 | 第39-42页 |
| 3.2.2 实验结果 | 第42-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 射频放电的仿真与实验研究 | 第49-66页 |
| 4.1 射频放电的仿真研究 | 第49-58页 |
| 4.1.1 射频放电仿真模型的建立 | 第50-51页 |
| 4.1.2 仿真结果 | 第51-58页 |
| 4.2 射频放电的实验研究 | 第58-65页 |
| 4.2.1 实验装置 | 第58-59页 |
| 4.2.2 实验结果与分析 | 第59-65页 |
| 4.2.2.1 定点测量 | 第59-63页 |
| 4.2.2.2 轴向测量 | 第63-65页 |
| 4.3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第71-72页 |
