| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-15页 |
| ·引言 | 第6-7页 |
| ·激光等离子体极紫外(LPPS source)光源简介 | 第7-11页 |
| ·研究目的意义及国内外发展现状 | 第11-13页 |
| ·论文内容及结构 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 激光等离子体光源实验的相关理论 | 第15-24页 |
| ·等离子体物理基本理论 | 第15-18页 |
| ·用于极紫外平场光栅光谱仪检测的高次谐波理论 | 第18-20页 |
| ·用于平场光栅光谱仪标定的元素吸收边理论 | 第20-22页 |
| ·实验所用真空系统的一些基本知识 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 极紫外光源工作过程中伴随的碎屑污染问题 | 第24-38页 |
| ·主要的实验装置 | 第24-25页 |
| ·不同激光能量辐照下钆离子碎屑的动能、数量以及角分布特点 | 第25-29页 |
| ·缓冲气体对钆离子碎屑的阻挡作用研究 | 第29-32页 |
| ·一定强度的磁场对钆离子碎屑的阻挡作用研究 | 第32-34页 |
| ·磁场与背景气体共同作用钆离子碎屑阻挡效果的研究 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 用于探测极紫外光源光谱的平像场光谱仪的设计、检验以及标定 | 第38-47页 |
| ·极紫外平像场光栅光谱仪的设计思路 | 第38-39页 |
| ·平像场光栅光谱仪的结构和调试 | 第39-43页 |
| ·平场光栅光谱仪的精确标定 | 第43-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第五章 激光等离子体极紫外光谱性质研究的初步结果 | 第47-53页 |
| ·不同激光功率密度作用下，三种靶材的极紫外光谱性质研究 | 第47-51页 |
| ·不同收集角度所获得的极紫外辐射光谱性质的研究 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第53-55页 |
| ·全文总结 | 第53-54页 |
| ·展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-57页 |
