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W18Cr4V高速钢基体金刚石薄膜的研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-7页
目录第7-10页
第一章 绪论第10-25页
   ·金刚石的结构、性能及应用第10-14页
     ·金刚石的晶体结构第10-11页
     ·金刚石的性能及应用第11-14页
   ·CVD金刚石薄膜在刀具领域上的应用第14-16页
     ·CVD金刚石厚膜焊接刀具第15页
     ·CVD金刚石涂层刀具第15-16页
   ·钢基CVD金刚石薄膜的研究进展第16-20页
     ·沉积法制备过渡层第16-18页
     ·表面改性法制备过渡层第18-20页
   ·影响金刚石涂层刀具附着性能的因素第20-23页
     ·切削过程中薄膜的受力分析第20页
     ·基体材料对金刚石薄膜附着性能的影响第20-21页
     ·基体预处理对金刚石薄膜附着性能的影响第21-22页
     ·过渡层对金刚石薄膜附着性能的影响第22页
     ·负偏压形核对金刚石薄膜附着性能的影响第22页
     ·沉积条件对金刚石薄膜附着性能的影响第22-23页
   ·研究的意义和内容第23-25页
第二章 实验方法第25-32页
   ·实验原理及实验设备第25-26页
   ·实验方法第26-27页
     ·实验材料第26页
     ·基体表面预处理第26页
     ·灯丝预处理第26-27页
     ·实验步骤与流程第27页
   ·性能检测第27-32页
     ·X射线衍射(XRD)第27-28页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第28-29页
     ·能谱仪(EDS)第29页
     ·拉曼光谱仪(Raman)第29-30页
     ·金刚石薄膜附着性能的表征第30页
     ·金刚石薄膜摩擦学性能的表征第30-32页
第三章 过渡层对钢基金刚石薄膜的影响第32-42页
   ·不同过渡层的制备及金刚石薄膜的沉积工艺第32-33页
   ·不同过渡层对钢基金刚石薄膜的影响第33-40页
     ·不同过渡层对金刚石薄膜形貌的影响第33-36页
     ·不同过渡层对金刚石薄膜质量的影响第36-38页
     ·不同过渡层对金刚石薄膜附着性能的影响第38-40页
   ·本章小结第40-42页
第四章 沉积工艺对WC-Co/钢基金刚石生长的影响第42-63页
   ·预处理方式对WC-Co过渡层的影响第42-45页
     ·化学预处理配方及选用处理方案第42页
     ·化学预处理表面性能检测第42-45页
   ·基体温度对金刚石薄膜的影响第45-49页
     ·基体温度对金刚石薄膜形貌的影响第45-47页
     ·基体温度对金刚石薄膜质量的影响第47页
     ·基体温度对金刚石薄膜附着性能的影响第47-48页
     ·基体温度影响金刚石薄膜的机理分析第48-49页
   ·沉积气压对金刚石薄膜的影响第49-52页
     ·沉积气压对金刚石薄膜形貌的影响第49页
     ·沉积气压对金刚石薄膜质量的影响第49-51页
     ·沉积气压对金刚石薄膜附着性能的影响第51-52页
     ·沉积气压影响金刚石薄膜的机理分析第52页
   ·甲烷浓度对金刚石薄膜的影响第52-56页
     ·甲烷浓度对金刚石薄膜形貌的影响第53页
     ·甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响第53-55页
     ·甲烷浓度对金刚石薄膜附着性能的影响第55页
     ·甲烷浓度影响金刚石薄膜的机理分析第55-56页
   ·过渡层厚度对金刚石薄膜的影响第56-61页
     ·过渡层厚度对金刚石薄膜形貌的影响第57页
     ·过渡层厚度对金刚石薄膜质量的影响第57-59页
     ·过渡层厚度对金刚石薄膜摩擦学性能的影响第59-61页
     ·过渡层厚度影响金刚石薄膜的机理分析第61页
   ·本章小结第61-63页
第五章 结论第63-64页
参考文献第64-71页
致谢第71-72页
攻读学位期间主要的研究成果第72页

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