碲化镉靶材制备及镀膜工艺研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-27页 |
| ·太阳能电池的发展 | 第10-11页 |
| ·薄膜太阳能电池的发展 | 第10-11页 |
| ·碲化镉薄膜太阳能电池的发展 | 第11页 |
| ·碲化镉基本性质 | 第11-12页 |
| ·碲化镉薄膜太阳能电池结构 | 第12-13页 |
| ·碲化镉薄膜制备技术 | 第13-20页 |
| ·碲化镉薄膜制备方法 | 第13-15页 |
| ·射频磁控溅射法 | 第15-17页 |
| ·碲化镉薄膜性能的影响因素 | 第17-19页 |
| ·薄膜生长机理 | 第19页 |
| ·碲化镉薄膜研究工作发展趋势与方向 | 第19-20页 |
| ·碲化镉靶材制备技术 | 第20-23页 |
| ·热压烧结工艺 | 第21-22页 |
| ·烧结致密化机理 | 第22-23页 |
| ·碲化镉粉体制备技术 | 第23-25页 |
| ·机械研磨法 | 第23-25页 |
| ·密闭合成法 | 第25页 |
| ·课题研究目的及意义 | 第25-27页 |
| 2 课题研究方案 | 第27-37页 |
| ·课题研究技术路线图 | 第27-28页 |
| ·碲化镉粉体制备与性能表征方法 | 第28-30页 |
| ·机械研磨法设备与工艺参数 | 第28-29页 |
| ·粉体性能表征原理与方法 | 第29页 |
| ·碲化镉粉体晶粒尺寸计算方法 | 第29-30页 |
| ·碲化镉靶材制备与性能表征方法 | 第30-34页 |
| ·热压烧结实验设备 | 第30-31页 |
| ·碲化镉靶材热压烧结工艺 | 第31-33页 |
| ·碲化镉靶材性能表征原理与方法 | 第33-34页 |
| ·碲化镉薄膜制备与性能表征方法 | 第34-37页 |
| ·碲化镉薄膜制备工艺 | 第34-35页 |
| ·碲化镉薄膜性能表征原理与方法 | 第35-37页 |
| 3 实验结果分析 | 第37-60页 |
| ·碲化镉粉体性能的表征 | 第37-42页 |
| ·碲化镉粉体粒度测试 | 第37页 |
| ·碲化镉粉体晶粒尺寸计算 | 第37-38页 |
| ·碲化镉粉体纯度分析 | 第38-39页 |
| ·碲化镉粉体物相测试 | 第39-41页 |
| ·碲化镉粉体显微形貌 | 第41页 |
| ·小结 | 第41-42页 |
| ·碲化镉靶材制备实验结果分析 | 第42-52页 |
| ·碲化镉靶材正交实验结果分析 | 第42-46页 |
| ·烧结致密化过程 | 第46-48页 |
| ·碲化镉靶材物相结构分析 | 第48-49页 |
| ·碲化镉靶材晶粒尺寸分析 | 第49页 |
| ·碲化镉靶材形貌分析 | 第49-51页 |
| ·小结 | 第51-52页 |
| ·碲化镉薄膜制备实验结果分析 | 第52-60页 |
| ·薄膜厚度与溅射时间的关系 | 第52-53页 |
| ·碲化镉薄膜物相结构测试 | 第53-54页 |
| ·碲化镉薄膜光学性能测试 | 第54-57页 |
| ·碲化镉薄膜电学性能测试 | 第57页 |
| ·碲化镉薄膜显微形貌分析 | 第57-59页 |
| ·小结 | 第59-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
