| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-29页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·类金刚石薄膜 | 第11-18页 |
| ·类金刚石膜的种类及其结构性能 | 第11-12页 |
| ·类金刚石薄膜的制备及其应用 | 第12-15页 |
| ·类金刚石薄膜存在的问题及解决方案 | 第15-18页 |
| ·金属硫化物固体润滑膜 | 第18-22页 |
| ·FeS 固体润滑薄膜 | 第18-20页 |
| ·MoS_2固体润滑薄膜 | 第20-21页 |
| ·WS_2固体润滑薄膜 | 第21页 |
| ·金属硫化物薄膜存在的问题 | 第21-22页 |
| ·MeS_x/Me-DLC 复合薄膜的研究现状 | 第22-26页 |
| ·MeS_x/Me-DLC 复合薄膜结构性能 | 第22-23页 |
| ·MeS_x/Me-DLC 复合薄膜制备工艺及其应用 | 第23-25页 |
| ·MeS_x/Me-DLC 复合薄膜存在的问题 | 第25-26页 |
| ·论文选题及主要研究内容 | 第26-29页 |
| ·论文选题依据 | 第26页 |
| ·薄膜的设计思路 | 第26-28页 |
| ·论文主要研究内容 | 第28页 |
| ·论文研究意义 | 第28-29页 |
| 第2章 实验方案 | 第29-36页 |
| ·制备工艺 | 第29-33页 |
| ·工艺设备 | 第29-31页 |
| ·工艺参数 | 第31-33页 |
| ·表征测试 | 第33-36页 |
| ·形貌分析 | 第33-34页 |
| ·成分和结构分析 | 第34-35页 |
| ·力学性能分析 | 第35页 |
| ·摩擦学性能测试 | 第35-36页 |
| 第3章 WS_2/W-DLC 复合薄膜制备及其摩擦学性能 | 第36-53页 |
| ·微观形貌 | 第36-39页 |
| ·成分与结构 | 第39-45页 |
| ·力学性能 | 第45-47页 |
| ·摩擦学性能 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 MoS_2/Mo-DLC 复合薄膜制备及其摩擦学性能 | 第53-68页 |
| ·微观形貌 | 第53-56页 |
| ·成分与结构 | 第56-60页 |
| ·力学性能 | 第60-62页 |
| ·摩擦学性能 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 MeS_x/Me-DLC 复合薄膜摩擦学机理探讨与机理模型 | 第68-71页 |
| 第6章 结论 | 第71-73页 |
| ·主要研究结论 | 第71-72页 |
| ·对下一步工作的建议 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-81页 |
| 个人简历 | 第81-82页 |
| 硕士期间研究成果 | 第82页 |
