| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·多铁材料概述 | 第8-9页 |
| ·多铁材料国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·多铁薄膜制备方法 | 第13-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-17页 |
| 2 BST 铁电薄膜的制备与性能分析 | 第17-31页 |
| ·BST 靶材的制备 | 第17-22页 |
| ·BST 薄膜的制备工艺研究 | 第22-24页 |
| ·BST 薄膜性能测试分析 | 第24-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 CFO 磁性薄膜的制备与性能分析 | 第31-43页 |
| ·CFO 靶材的制备 | 第31页 |
| ·CFO 靶材性能分析 | 第31-36页 |
| ·CFO 薄膜的制备工艺研究 | 第36页 |
| ·CFO 薄膜的性能测试分析 | 第36-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 多铁复合薄膜的制备与性能分析 | 第43-51页 |
| ·多铁复合薄膜的制备工艺研究 | 第43-44页 |
| ·复合薄膜的性能测试分析 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 5 总结与展望 | 第51-53页 |
| ·全文总结 | 第51-52页 |
| ·展望 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-57页 |