| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-16页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·椭偏测量术产生的背景和研究历程 | 第12-14页 |
| ·椭偏测量的应用介绍 | 第14-15页 |
| ·论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 椭圆偏振测量术的原理 | 第16-41页 |
| ·偏振光和椭圆偏振光简介 | 第16-23页 |
| ·偏振光 | 第16-18页 |
| ·椭圆偏振光 | 第18-23页 |
| ·椭圆偏振测量理论 | 第23-32页 |
| ·单层介质薄膜的反射原理 | 第23-27页 |
| ·消光法的测量原理 | 第27-30页 |
| ·光度法测量原理 | 第30-32页 |
| ·椭偏测量术 PSCRA 系统及其数学模型 | 第32-40页 |
| ·琼斯矩阵和穆勒矩阵对偏振态的描述 | 第33-38页 |
| ·椭偏仪 PSCRA 测量系统的优点及公式推导 | 第38-40页 |
| ·本章总结 | 第40-41页 |
| 第三章 波片及其相位标定 | 第41-48页 |
| ·波片的工作原理和类型 | 第41页 |
| ·实验上波片位相延迟的标定 | 第41-47页 |
| ·波片位相延迟标定原理 | 第41-42页 |
| ·PCRA 直通式系统公式推导 | 第42-43页 |
| ·实验标定波片光谱的位相分布 | 第43-47页 |
| ·本章总结 | 第47-48页 |
| 第四章 椭偏测量的校准 | 第48-63页 |
| ·传统的椭偏校准方法 | 第48-55页 |
| ·传统椭偏校准法概览 | 第48-54页 |
| ·采用双区域校准法的实验结果 | 第54-55页 |
| ·新颖的标准样品校准法 | 第55-62页 |
| ·样品校准法发明背景 | 第55-56页 |
| ·样品校准法优点及实施过程 | 第56页 |
| ·样品校准法详细阐述 | 第56-62页 |
| ·本章总结 | 第62-63页 |
| 第五章 单波长椭偏仪 | 第63-71页 |
| ·单波长椭偏仪（SWE）硬件结构介绍 | 第63-65页 |
| ·单波长 PSCRA 系统主要组成部分 | 第63-64页 |
| ·单波长椭偏仪系统实现方案 | 第64-65页 |
| ·样品校准法应用到单波长椭偏仪系统的模拟分析 | 第65-69页 |
| ·单波长样品校准法的可行性验证 | 第65-66页 |
| ·误差函数对入射角的敏感性分析 | 第66-69页 |
| ·单波长样品校准法的实验结果分析 | 第69-70页 |
| ·本章总结 | 第70-71页 |
| 第六章 光谱椭偏仪 | 第71-85页 |
| ·光谱椭偏仪系统的结构及基本原理 | 第71-74页 |
| ·光谱椭偏仪 PSCRA 系统主要组成部分 | 第71-72页 |
| ·光谱椭偏仪系统的基本原理 | 第72-74页 |
| ·Straight-through 系统的测量椭偏参数 | 第74-76页 |
| ·光谱椭偏仪的测量 | 第76-84页 |
| ·光机电集成的光谱椭偏仪系统 | 第76-77页 |
| ·光谱椭偏仪的测量结果 | 第77-84页 |
| ·本章总结 | 第84-85页 |
| 第七章 光谱椭偏仪在集成电路刻蚀结构检测中的应用 | 第85-89页 |
| ·OCD 技术简述 | 第85页 |
| ·OCD 技术的优点 | 第85页 |
| ·RCWA 简介 | 第85页 |
| ·光谱椭偏仪对集成电路样片 CD 的测量 | 第85-88页 |
| ·本章总结 | 第88-89页 |
| 第八章 论文总结 | 第89-90页 |
| ·论文工作的成果 | 第89页 |
| ·今后的研究工作 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-94页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第94-95页 |