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阳极氧化法制备硅太阳能电池用钝化层

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-11页
   ·太阳能电池及钝化进展第8-9页
   ·国内太阳能电池研究概况第9-11页
2 太阳能电池及钝化原理第11-17页
   ·太阳电池工作原理第11-12页
   ·太阳能电池效率限制因素以及解决方法第12-14页
   ·太阳能电池钝化第14-17页
     ·半导体的表面复合第14-15页
     ·多种钝化方法比较第15-17页
3 电化学二氧化硅研究第17-30页
   ·二氧化硅及其界面性质第17-20页
     ·二氧化硅中缺陷的分类第17-18页
     ·二氧化硅中缺陷的产生原理第18-20页
   ·电化学二氧化硅特性与生长机理第20-24页
     ·电化学二氧化硅生长机理第20-22页
     ·电化学二氧化硅特性第22-23页
     ·电化学二氧化硅影响因素第23-24页
   ·电化学二氧化硅表征技术第24-30页
     ·电容-电压测试方法第24-27页
     ·表面光伏(SPV)测试技术第27-30页
4 电化学生长SiO_2/Si界面特性以及钝化效果研究第30-41页
   ·电化学二氧化硅制备过程第30页
   ·反应电压对SiO_2/Si界面以及硅少子复合的影响第30-35页
   ·溶液浓度对SiO_2/Si界面以及硅少子复合的影响第35-36页
   ·反应时间对SiO_2/Si界面以及硅少子复合的影响第36-39页
   ·栅电压改变表面电荷浓度第39-41页
5 电化学二氧化硅退火对少子复合过程的影响第41-46页
   ·退火条件对SiO_2/Si界面特性的影响第41-43页
   ·退火条件对光生少数载流子复合的影响第43-46页
结论第46-47页
参考文献第47-51页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第51-52页
致谢第52-53页

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