| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-22页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·ZnO 概述 | 第9-16页 |
| ·透明导电薄膜概述 | 第16-18页 |
| ·ZnO: Al 薄膜的生长技术 | 第18-19页 |
| ·ZnO: Al 的研究现状 | 第19-22页 |
| 2 ZnO: Al 薄膜的制备技术及表征 | 第22-32页 |
| ·射频磁控溅射（RF Magnetron Sputtering）技术 | 第22-25页 |
| ·薄膜样品的表征 | 第25-32页 |
| 3 ZnO: Al 透明导电薄膜的性能研究 | 第32-50页 |
| ·ZnO: Al 薄膜的制备 | 第32-35页 |
| ·沉积工艺对 ZnO: Al 薄膜的影响 | 第35-50页 |
| 4 衬底材料对 ZnO: Al 薄膜性能的影响 | 第50-58页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·样品制备 | 第50-51页 |
| ·衬底材料对 ZnO: Al 膜的影响分析 | 第51-58页 |
| 5 ZnO: Al 在柔性非晶硅薄膜太阳电池中的应用 | 第58-61页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·柔性非晶硅薄膜电池的结构 | 第58-59页 |
| ·柔性电池的制备 | 第59-60页 |
| ·电池性能比较 | 第60-61页 |
| 6 结论 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 附录 2 攻读硕士学位期间申请的专利及奖项 | 第69页 |