| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-22页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·金属氧化物半导体气敏传感器 | 第12-13页 |
| ·金属氧化物材料的气敏机理 | 第13-17页 |
| ·气敏性能评价系统 | 第17-18页 |
| ·本课题研究的目的、意义和内容 | 第18-22页 |
| 2 金属氧化物气敏材料性能测试热激发平台的开发 | 第22-35页 |
| ·测试腔体和加热器的设计 | 第22-27页 |
| ·测试腔体支架的设计 | 第27-29页 |
| ·材料芯片的设计及制备 | 第29-32页 |
| ·电路的设计 | 第32-34页 |
| ·测试系统标准化程序 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 金属氧化物气敏材料性能测试热激发平台的性能评价 | 第35-45页 |
| ·金属氧化物气敏材料性能测试热激发平台各部分评价 | 第35-38页 |
| ·热激发测试平台系统测试整体评价 | 第38-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 热激发平台下气敏材料的伏安测试 | 第45-51页 |
| ·研究思路 | 第45页 |
| ·实验平台 | 第45-46页 |
| ·实验内容 | 第46页 |
| ·实验结果与分析 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 全文总结与展望 | 第51-54页 |
| ·主要结论 | 第51-52页 |
| ·工作展望 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第59页 |