一种MEMS微型气相色谱分离柱的性能优化
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| ·色谱分析法简介 | 第8-9页 |
| ·气相色谱简介 | 第9-10页 |
| ·微型气相色谱的研究进展 | 第10-11页 |
| ·微型气相色谱系统简介 | 第11-12页 |
| ·微型气相色谱分离柱 | 第12-19页 |
| ·微型分离柱固定相涂敷 | 第19-20页 |
| ·论文目标和章节介绍 | 第20-21页 |
| ·论文目标 | 第20页 |
| ·章节介绍 | 第20-21页 |
| 第二章 气相色谱塔板理论基础 | 第21-28页 |
| ·塔板理论 | 第21-22页 |
| ·塔板理论简介 | 第21页 |
| ·塔板理论的基本假设 | 第21-22页 |
| ·色谱流出曲线 | 第22-27页 |
| ·相关概念 | 第22页 |
| ·流出曲线方程的导出 | 第22-23页 |
| ·色谱流出曲线相关参数 | 第23-27页 |
| ·色谱峰信息 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 微型气相色谱分离柱的设计与制备 | 第28-44页 |
| ·MEMS微型分离柱的制备 | 第28-33页 |
| ·硅基底干法刻蚀技术 | 第28-31页 |
| ·硅玻阳极键合 | 第31-33页 |
| ·微型分离柱的制作工艺步骤 | 第33-34页 |
| ·微型分离柱结构设计 | 第34-40页 |
| ·沟槽布局图形设计 | 第34-35页 |
| ·长度设计 | 第35页 |
| ·沟槽截面几何参数的选择 | 第35-38页 |
| ·本论文设计的微型分离柱 | 第38-40页 |
| ·微型分离柱进、出气口的引出 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 微型气相色谱分离柱的固定相涂敷 | 第44-52页 |
| ·气相色谱固定相 | 第44-46页 |
| ·固定相选择的标准 | 第44-46页 |
| ·常用的固定相 | 第46页 |
| ·固定相的涂敷工艺 | 第46-50页 |
| ·涂敷前的去活化处理 | 第46-48页 |
| ·涂敷方法分类 | 第48-50页 |
| ·涂敷固定相交联处理 | 第50页 |
| ·静态涂敷详细步骤 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 微型气相色谱分离柱性能测试和结果讨论 | 第52-60页 |
| ·测试实验平台 | 第52页 |
| ·测试实验参数 | 第52-54页 |
| ·分离柱工作温度 | 第52-53页 |
| ·载气流动线速度 | 第53页 |
| ·样品容量 | 第53-54页 |
| ·测试实验过程和结果讨论 | 第54-59页 |
| ·分离柱结构测试 | 第54-55页 |
| ·工作温度对分离柱的性能影响 | 第55-56页 |
| ·混合物组分的分离测试 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 论文工作总结和展望 | 第60-62页 |
| ·工作总结 | 第60页 |
| ·工作展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第68页 |
