| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-27页 |
| ·AlN 的晶体结构 | 第14-15页 |
| ·AlN 薄膜的制备技术 | 第15-17页 |
| ·反应磁控溅射法 | 第15页 |
| ·分子束外延法 | 第15-16页 |
| ·化学气相沉积（CVD） | 第16页 |
| ·离子束辅助沉积法（IBAD） | 第16页 |
| ·脉冲激光沉积法(PLD) | 第16-17页 |
| ·AlN 薄膜的性质 | 第17-21页 |
| ·AlN 薄膜的电学性能 | 第17-18页 |
| ·AlN 薄膜的光学性能 | 第18-19页 |
| ·AlN 薄膜的机械性能 | 第19页 |
| ·AlN 薄膜的压电性能 | 第19-21页 |
| ·AlN 薄膜的应用 | 第21-24页 |
| ·绝缘埋层材料 | 第21-22页 |
| ·场发射材料 | 第22页 |
| ·发光材料 | 第22页 |
| ·传感器材料 | 第22页 |
| ·声表面波器件用压电材料 | 第22-24页 |
| ·(002)取向 AlN 薄膜的研究现状 | 第24-26页 |
| ·本文的研究背景和内容 | 第26-27页 |
| 第2章 AlN 薄膜制备及分析测试方法 | 第27-34页 |
| ·薄膜制备装置 | 第27-29页 |
| ·薄膜样品的制备 | 第29-31页 |
| ·衬底的选择及预处理过程 | 第29-30页 |
| ·AlN 薄膜及过渡层的制备方法及工艺条件 | 第30-31页 |
| ·AlN 薄膜表征方法 | 第31-32页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第31页 |
| ·X 射线光电子能谱分析 | 第31页 |
| ·扫描电子显微镜分析 | 第31-32页 |
| ·光学显微镜 | 第32页 |
| ·AlN 薄膜性能测试 | 第32-34页 |
| ·薄膜厚度的测量 | 第32页 |
| ·薄膜粘结强度测试 | 第32页 |
| ·薄膜表面粗糙度测试 | 第32-34页 |
| 第3章 AlN 薄膜制备工艺方法研究 | 第34-52页 |
| ·制备方法对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第34-38页 |
| ·反应磁控溅射制备 AlN 薄膜的(002)取向度 | 第34-36页 |
| ·离子束辅助沉积制备 AlN 薄膜的(002)取向度 | 第36-37页 |
| ·离子束溅射方法制备 AlN 薄膜的结构分析 | 第37-38页 |
| ·制备方法对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第38-43页 |
| ·反应磁控溅射制备 AlN 薄膜的表面形貌 | 第38-40页 |
| ·离子束辅助沉积制备 AlN 薄膜的表面形貌 | 第40-41页 |
| ·离子束溅射制备 AlN 薄膜的表面形貌 | 第41-43页 |
| ·制备方法对 AlN 薄膜沉积速率和化学计量比的影响 | 第43-49页 |
| ·制备方法对 AlN 薄膜沉积速率的影响 | 第43-44页 |
| ·制备方法对 AlN 薄膜化学计量比的影响 | 第44-49页 |
| ·制备方法对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第49-50页 |
| ·小结 | 第50-52页 |
| 第4章 异质过渡层对 AlN 薄膜(002)取向结构、表面形貌和粘接性能的影响 | 第52-74页 |
| ·异质过渡层对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第52-61页 |
| ·金属过渡层对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第52-56页 |
| ·无机非金属过渡层对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第56-61页 |
| ·异质过渡层对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第61-69页 |
| ·金属过渡层对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第61-64页 |
| ·无机非金属过渡层对 AlN 薄膜表面形貌的影响 | 第64-69页 |
| ·异质过渡层对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第69-73页 |
| ·金属过渡层对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第69-72页 |
| ·无机非金属过渡层对 AlN 薄膜粘接性能的影响 | 第72-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第5章 同质过渡层诱导生长高(002)取向度 AlN 薄膜 | 第74-88页 |
| ·诱导生长对 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第74-80页 |
| ·靶基距对诱导生长 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第74-76页 |
| ·衬底温度对诱导生长 AlN 薄膜(002)取向度的影响 | 第76-78页 |
| ·高(002)取向度 AlN 薄膜诱导生长机制分析 | 第78-80页 |
| ·诱导生长的 AlN 薄膜表面形貌分析 | 第80-82页 |
| ·诱导生长的 AlN 薄膜粘接性能研究 | 第82-87页 |
| ·小结 | 第87-88页 |
| 结论 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 附录 A 攻读硕士期间的研究成果 | 第100页 |
