基于相位散焦光栅的M~2因子测量软件设计
| 摘要 | 第1-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 引言 | 第12-16页 |
| ·课题的研究背景 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第13-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-14页 |
| ·发展趋势 | 第14-15页 |
| ·论文各部分的主要内容 | 第15-16页 |
| 第二章 基本原理方法 | 第16-30页 |
| ·M~2 因子的含义 | 第16-17页 |
| ·M~2 因子的计算方法 | 第17-19页 |
| ·散焦光栅的原理及实现测量多点光强分布的方法 | 第19-22页 |
| ·高斯光束经透镜的传输规律 | 第22页 |
| ·测量数据的曲线拟合方法 | 第22-24页 |
| ·数字图像的形态学处理方法 | 第24-29页 |
| ·图像的腐蚀与膨胀方法 | 第24-26页 |
| ·图像的腐蚀与膨胀方法 | 第26-27页 |
| ·图像噪声滤波方法 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 M~2 因子测量系统总体设计 | 第30-42页 |
| ·M~2 因子测量系统设计及组件技术参数 | 第30-32页 |
| ·M~2 因子测量系统设计 | 第30-31页 |
| ·系统组件技术参数 | 第31-32页 |
| ·相位型正交散焦光栅相关参数的确定与计算 | 第32-36页 |
| ·已知参数及测量要求 | 第32页 |
| ·散焦光栅等效焦距和离轴量的确定 | 第32-33页 |
| ·散焦光栅条纹参数的的计算 | 第33页 |
| ·散焦光栅衍射效率的确定及镀膜厚度的计算 | 第33-35页 |
| ·波长对相位型散焦光栅的影响 | 第35-36页 |
| ·M~2 因子测量软件系统设计 | 第36-41页 |
| ·软件系统需求分析 | 第36-38页 |
| ·软件系统工作流程设计 | 第38-39页 |
| ·开发平台选择及其优势 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 M~2 因子测量软件系统设计 | 第42-58页 |
| ·软件系统框架总体设计与实现 | 第42-44页 |
| ·软件系统框架设计与实现 | 第42-43页 |
| ·多线程的实现 | 第43-44页 |
| ·光斑图像的采集 | 第44-47页 |
| ·光斑图像的采集 | 第45-46页 |
| ·图像转换算法实现 | 第46-47页 |
| ·光斑图像的分析处理 | 第47-55页 |
| ·图像腐蚀处理 | 第48-51页 |
| ·图像膨胀处理 | 第51-53页 |
| ·图像平滑滤波处理 | 第53-54页 |
| ·图像平顶分析处理 | 第54-55页 |
| ·M~2 计算算法实现 | 第55-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 系统测试与结果分析 | 第58-65页 |
| ·测量实验流程 | 第58-59页 |
| ·软件系统测量流程 | 第59-62页 |
| ·光斑图像采集 | 第59页 |
| ·图像腐蚀处理 | 第59-60页 |
| ·图像膨胀处理 | 第60页 |
| ·图像平滑降噪处理 | 第60-61页 |
| ·图像分割处理与计算 | 第61页 |
| ·光束质量参数计算 | 第61-62页 |
| ·测试与结论分析 | 第62-63页 |
| ·误差来源分析 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 结论与展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 附录 A 腐蚀算法实现代码 | 第71-75页 |
| 附录 B 膨胀算法实现代码 | 第75-77页 |
| 附录 C 中值滤波算法代码 | 第77-80页 |
| 附录 D 曲线拟合算法代码 | 第80-82页 |
