静电驱动之微型环的稳定性分析
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 符号说明 | 第8-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-19页 |
| ·微机电系统（MEMS）的概述 | 第10-12页 |
| ·MEMS 的定义 | 第10-11页 |
| ·MEMS 的应用与展望 | 第11-12页 |
| ·MEMS 的国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·国外的研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内的研究现状 | 第13页 |
| ·MEMS 微驱动器 | 第13-16页 |
| ·MEMS 驱动机制与性能比较 | 第13-15页 |
| ·静电驱动器的优势与挑战 | 第15-16页 |
| ·课题的意义及论文的研究内容 | 第16-19页 |
| ·课题的意义 | 第16-17页 |
| ·论文的主要内容及创新点 | 第17-19页 |
| 2. 微型环建模 | 第19-28页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·微型环系统数学建模 | 第19-23页 |
| ·微型环系统的自然特性 | 第23-28页 |
| 3. 单点移动力作用下微型环的特性分析 | 第28-35页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·单点移动的简谐力作用 | 第28-32页 |
| ·单点移动的力作用 | 第32-33页 |
| ·小结 | 第33-35页 |
| 4. 静电力作用下微型环运动方程的推导 | 第35-47页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·单点移动的静电力作用 | 第35-43页 |
| ·单点固定的静电力作用 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 5. 单点移动静电力作用下微型环的特性分析 | 第47-68页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·系统的动态特性分析 | 第48-59页 |
| ·直流偏压作用下系统的动态特性 | 第50-54页 |
| ·交流偏压作用下系统的动态特性 | 第54-59页 |
| ·系统的稳定性分析 | 第59-66页 |
| ·稳定性概念 | 第59-64页 |
| ·直流偏压作用下系统的稳定性 | 第64页 |
| ·交流偏压作用下系统的稳定性 | 第64-66页 |
| ·小结 | 第66-68页 |
| 6. 总结与展望 | 第68-71页 |
| ·总结 | 第68-69页 |
| ·未来展望 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 附录 1 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第76-77页 |
