| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| ·研究背景与研究意义 | 第13-15页 |
| ·研究背景 | 第13-14页 |
| ·研究意义 | 第14-15页 |
| ·国内外研究概况 | 第15-22页 |
| ·共面波导及其滤波器 | 第15-16页 |
| ·RF MEMS滤波器 | 第16-22页 |
| ·研究现状分析 | 第22-23页 |
| ·论文主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·参考文献 | 第24-29页 |
| 第2章 RF MEMS并联电容式开关分析与研究 | 第29-49页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·MEMS开关弹性系数研究 | 第30-40页 |
| ·基于对称载荷的MEMS开关弹性系数分析 | 第30-34页 |
| ·基于非对称载荷的MEMS开关弹性系数分析 | 第34-40页 |
| ·MEMS开关驱动电压及开关速度研究 | 第40-43页 |
| ·基于微带线特性阻抗法的开关电容分析 | 第40-41页 |
| ·基于MEMS开关全电容的驱动电压分析 | 第41-42页 |
| ·基于谐振梁品质因数的开关与释放时间分析 | 第42-43页 |
| ·MEMS开关结构模型设计及等效电路提取 | 第43-47页 |
| ·无“吸合”效应的MEMS开关模型设计 | 第43-44页 |
| ·并联电容式MEMS开关等效电路分析 | 第44-45页 |
| ·高隔离度低驱动电压的MEMS开关分析与设计 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47页 |
| ·参考文献 | 第47-49页 |
| 第3章 CPW缺陷结构特性阻抗与等效电路研究 | 第49-77页 |
| ·引言 | 第49-50页 |
| ·问题分析 | 第50-51页 |
| ·CPW缺陷地结构特性阻抗研究 | 第51-57页 |
| ·缺陷地结构电容值与特性阻抗分析 | 第51-55页 |
| ·缺陷地结构电容值与特性阻抗实例分析 | 第55-57页 |
| ·CPW信号线缺陷结构电容及特性阻抗研究 | 第57-62页 |
| ·信号线缺陷结构电容值与特性阻抗分析 | 第58-60页 |
| ·信号线缺陷结构电容值与特性阻抗实例分析 | 第60-62页 |
| ·CPW缺陷结构射频特性与等效电路研究 | 第62-74页 |
| ·CPW缺陷地结构射频特性与等效电路分析 | 第62-69页 |
| ·CPW信号线缺陷结构射频特性与等效电路分析 | 第69-73页 |
| ·CPW耦合及短路缺陷结构等效电路分析 | 第73-74页 |
| ·本章小结 | 第74页 |
| ·参考文献 | 第74-77页 |
| 第4章 基于CPW缺陷地结构的MEMS带阻滤波器研究 | 第77-113页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·基于CPW缺陷地结构的带阻滤波器设计 | 第77-83页 |
| ·基于CPW缺陷地结构的谐振器及滤波器结构设计 | 第78-81页 |
| ·测试结果分析 | 第81-83页 |
| ·不同缺陷地结构的带阻滤波器研究 | 第83-91页 |
| ·四槽双翼结构带阻滤波器设计 | 第83-86页 |
| ·回型双翼结构带阻滤波器设计 | 第86-87页 |
| ·基于谐振法等效电路提取与分析 | 第87-91页 |
| ·基于CPW混合谐振器的可调带阻MEMS滤波器设计 | 第91-107页 |
| ·混合谐振器单元研究 | 第92-99页 |
| ·谐振单元分析 | 第92-93页 |
| ·电路分析及结构参数设计 | 第93-96页 |
| ·凹槽结构尺寸对谐振单元性能的影响分析 | 第96-97页 |
| ·MEMS开关高度对谐振单元性能的影响分析 | 第97-99页 |
| ·基于对称载荷的MEMS开关分析 | 第99-101页 |
| ·MEMS可调带阻滤波器加工测试及分析 | 第101-107页 |
| ·MEMS可调滤波器加工与测试 | 第101-103页 |
| ·误差分析与修正 | 第103-107页 |
| ·本章小结 | 第107页 |
| ·参考文献 | 第107-113页 |
| 第5章 基于CPW信号线缺陷结构的MEMS滤波器研究 | 第113-139页 |
| ·引言 | 第113页 |
| ·基于CPW信号线缺陷结构的MEMS可调带通滤波器研究 | 第113-120页 |
| ·基于CPW回型凹槽结构的MEMS可调带通滤波器设计 | 第114-118页 |
| ·基于非对称载荷的MEMS开关结构分析 | 第118-119页 |
| ·MEMS带通滤波器测试与分析 | 第119-120页 |
| ·基于CPW信号线折型梳齿结构的MEMS可调带通滤波器研究 | 第120-126页 |
| ·基于折型梳齿结构的MEMS可调带通滤波器模型分析 | 第121-123页 |
| ·MEMS可调带通滤波器结构优化分析 | 第123-124页 |
| ·基于MEMS开关的可调特性及射频性能分析 | 第124-125页 |
| ·MEMS可调带通滤波器等效电路分析 | 第125-126页 |
| ·基于CPW信号线缺陷结构的MEMS可调带阻滤波器研究 | 第126-130页 |
| ·基于双沟凹槽结构的带阻滤波器结构分析与设计 | 第126-127页 |
| ·MEMS可调带阻滤波器结构优化分析 | 第127-128页 |
| ·MEMS带阻滤波器可调射频特性分析 | 第128-129页 |
| ·MEMS可调带阻滤波器等效电路分析 | 第129-130页 |
| ·基于CPW信号线缺陷结构的MEMS低通滤波器研究 | 第130-136页 |
| ·折合双桥MEMS可调低通滤波器的结构分析 | 第130-132页 |
| ·基于MEMS开关的可调特性分析 | 第132-133页 |
| ·基于保角变换的参数提取与等效电路分析 | 第133-136页 |
| ·本章小结 | 第136页 |
| ·参考文献 | 第136-139页 |
| 第6章 实验加工和测试方法研究 | 第139-159页 |
| ·引言 | 第139页 |
| ·滤波器加工工艺研究 | 第139-151页 |
| ·不可调滤波器加工工艺分析 | 第140-141页 |
| ·可调MEMS滤波器加工工艺分析 | 第141-147页 |
| ·MEMS滤波器掩模版设计 | 第147-151页 |
| ·MEMS开关及滤波器测试与分析 | 第151-156页 |
| ·MEMS开关及滤波器测试 | 第151-154页 |
| ·MEMS并联电容式开关失效分析 | 第154-156页 |
| ·本章小结 | 第156页 |
| ·参考文献 | 第156-159页 |
| 第7章 总结与展望 | 第159-161页 |
| ·总结 | 第159-160页 |
| ·展望 | 第160-161页 |
| 致谢 | 第161-163页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文与专利 | 第163-164页 |
