多线切割机控制系统的设计与研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·研究背景 | 第10-12页 |
| ·半导体行业对加工技术的要求 | 第10页 |
| ·多线切割技术的原理与特点 | 第10-12页 |
| ·国内外的多线切割机的研究概况与发展趋势 | 第12-13页 |
| ·国外多线切割机的发展状况 | 第12-13页 |
| ·国内多线切割机的发展现状 | 第13页 |
| ·国内外多线切割技术的差距 | 第13页 |
| ·多线切割技术的发展趋势 | 第13页 |
| ·控制技术的理论基础 | 第13-16页 |
| ·伺服控制系统 | 第13-15页 |
| ·比例—积分—微分(PID)控制 | 第15-16页 |
| ·课题研究重点及难点 | 第16-17页 |
| ·论文结构与主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 多线切割机的结构与控制模型研究 | 第18-32页 |
| ·多线切割机的结构 | 第18-22页 |
| ·多线切割机的组成结构 | 第18-21页 |
| ·多线切割机的工作过程 | 第21-22页 |
| ·多线切割机对控制系统的要求 | 第22页 |
| ·控制系统总体方案设计 | 第22-23页 |
| ·控制系统的理论模型 | 第23-31页 |
| ·控制系统运动学模型的建立 | 第23-25页 |
| ·控制系统动力学模型的建立 | 第25-27页 |
| ·收放线辊半径模型的建立 | 第27-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 电机及其传动系统的控制方案研究 | 第32-42页 |
| ·伺服电机及驱动系统简介 | 第32-34页 |
| ·伺服驱动系统的原理 | 第32-33页 |
| ·伺服电机简介 | 第33-34页 |
| ·伺服电机的模型及其仿真分析 | 第34-41页 |
| ·伺服电机的数学模型 | 第34-37页 |
| ·伺服电机模型的仿真与分析 | 第37-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 多电机速度同步控制方案研究 | 第42-55页 |
| ·现有控制方案的分析与问题 | 第42-45页 |
| ·现有控制方案分析 | 第42-43页 |
| ·现有控制方案存在的问题 | 第43-45页 |
| ·PID控制方案的分析与研究 | 第45-54页 |
| ·PID控制的原理 | 第46页 |
| ·速度同步跟随PID控制器的设计与研究 | 第46-51页 |
| ·PID控制器的参数设计及仿真分析 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 切割线张力波动的控制方法研究 | 第55-66页 |
| ·速度换向过程优化研究 | 第55-57页 |
| ·张力反馈控制研究 | 第57-60页 |
| ·张力反馈控制研究的原因 | 第57-58页 |
| ·张力反馈的原理 | 第58-59页 |
| ·张力反馈控制器的设计及仿真分析 | 第59-60页 |
| ·控制系统张紧装置的研究与改进 | 第60-65页 |
| ·张力电机张紧结构模型的建立 | 第60-61页 |
| ·张力电机张紧结构的理论分析 | 第61-62页 |
| ·张力电机张紧结构改进的前后比较 | 第62-64页 |
| ·张力电机张紧结构改进的实践分析 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 扰动分析及样机调试 | 第66-71页 |
| ·多线切割机的扰动分析 | 第66-68页 |
| ·收放线辊表面切割线径向跳变的影响分析 | 第66-67页 |
| ·导向轮惯性力的影响分析 | 第67-68页 |
| ·多线切割机的样机调试 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第7章 结论与展望 | 第71-73页 |
| ·研究结论 | 第71-72页 |
| ·研究展望 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 硕士期间发表的学术论文 | 第77页 |
