| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| ·印制电路光刻技术的发展 | 第12-15页 |
| ·接触成像技术 | 第12-13页 |
| ·步进重复成像技术 | 第13页 |
| ·激光直接成像技术 | 第13-14页 |
| ·激光投影光刻技术 | 第14-15页 |
| ·LCD制造工艺中的光刻技术 | 第15-18页 |
| ·TFT-LCD的制造工艺流程 | 第15-16页 |
| ·TFT-LCD光刻加工工艺 | 第16-18页 |
| ·光刻设备工作台的发展与前景 | 第18-19页 |
| 第二章 精密工作台减震系统的研究 | 第19-23页 |
| ·精密工作台整体机构的简化设计 | 第19页 |
| ·地基被动隔振方案 | 第19-20页 |
| ·模拟工作台主动减振方案的研究 | 第20-23页 |
| 第三章 工作台的检测和闭环反馈系统 | 第23-30页 |
| ·激光干涉检测系统 | 第23-27页 |
| ·数字检测系统 | 第27-30页 |
| 第四章 直接驱动技术与控制技术研究 | 第30-48页 |
| ·直接驱动技术简介 | 第30-39页 |
| ·直线交流伺服电机的PID控制 | 第31-34页 |
| ·控制规律选择 | 第34-35页 |
| ·PID控制器的设计方法—Ziegler-Nichols方法 | 第35页 |
| ·控制解析方法 | 第35-36页 |
| ·系统数学模型分析 | 第36-37页 |
| ·直线电机的伺服控制成功方案简介 | 第37-39页 |
| ·闭环伺服控制系统 | 第39-43页 |
| ·步进电机的应用 | 第40页 |
| ·步进电机的动态特性 | 第40-43页 |
| ·PMAC多功能运动控制器 | 第43-45页 |
| ·工作台传动系统 | 第45-48页 |
| 第五章 微驱动与控制技术研究 | 第48-55页 |
| ·工作台微动系统 | 第48-51页 |
| ·压电陶瓷驱动电路 | 第51-55页 |
| ·压电陶瓷微位移器的特点 | 第52页 |
| ·驱动电路设计 | 第52-53页 |
| ·压电陶瓷的性能测试 | 第53-55页 |
| 全文总结 | 第55-57页 |
| 主要结论 | 第55页 |
| 后期工作展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 发表的学术论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |