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中红外InAsSb材料的MOCVD生长特性研究

内容提要第1-6页
第一章 综述第6-19页
   ·引言第6页
   ·窄禁带半导体第6-16页
   ·论文的主要内容及目的第16-17页
 参考文献第17-19页
第二章 INASSB材料的MOCVD 生长第19-47页
   ·InAsSb 材料简述第19-27页
   ·InAsSb 材料的MOCVD 生长第27-43页
 参考文献第43-47页
第三章 INAS_(1-X)SB_X材料的生长质量研究第47-65页
   ·材料的MOCVD 生长参数及表征手段第47-49页
   ·表面形貌与生长参数的关系第49-52页
   ·结晶质量与生长参数的关系第52-63页
   ·总结第63页
 参考文献第63-65页
第四章 INAS_(1-X)SB_X材料的组分及电学特性研究第65-83页
   ·InAS_(1-x)Sb_x 材料组分的研究第65-75页
   ·InAS_(1-x)Sb_x 材料的电学特性研究第75-82页
 参考文献第82-83页
第五章 总结第83-86页
摘要第86-89页
ABSTRACT第89-93页
致谢第93页

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