微位移技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-10页 |
| §1.1 引言 | 第7页 |
| §1.2 国内外现状及发展趋势 | 第7-9页 |
| §1.3 系统研制的目的和意义 | 第9-10页 |
| 第二章 微位移机构介绍 | 第10-32页 |
| §2.1 微位移机构分类及应用 | 第10-13页 |
| §2.2 常用工作台简介 | 第13-31页 |
| §2.3 小结 | 第31-32页 |
| 第三章 压电/电致伸缩微位移器件 | 第32-46页 |
| §3.1 压电、电致伸缩微位移器件 | 第32-33页 |
| §3.2 压电、电致伸缩微位移器件特性 | 第33-39页 |
| §3.3 压电、电致伸缩微位移器的应用 | 第39-44页 |
| §3.4 现状与前景 | 第44-46页 |
| 第四章 步进电机驱动的摩擦传动微进给机构设计 | 第46-54页 |
| §4.1 摩擦传动机构设计 | 第46-48页 |
| §4.2 位移性能测试 | 第48-52页 |
| §4.3 精度分析 | 第52-53页 |
| §4.4 小结 | 第53-54页 |
| 第五章 微位移机构测试实验 | 第54-59页 |
| §5.1 实验目的 | 第54页 |
| §5.2 实验原理 | 第54-55页 |
| §5.3 实验设备 | 第55-57页 |
| §5.4 实验数据 | 第57-58页 |
| §5.5 实验结果分析 | 第58-59页 |
| 总结 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
