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氢等离子体中氢原子密度定量测定及亚稳态氢分子负离子的产生与检测研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
1 绪论第12-28页
   ·氢等离子体与富氢等离子体的研究第12-15页
     ·氢等离子体与富氢等离子体研究的科学意义第12页
     ·氢等离子体的产生方式第12-13页
     ·介质阻挡放电(dielectric barrier dischage 简称 DBD)第13-15页
   ·等离子体中活性物种的诊断方式第15-18页
     ·光谱法第15-17页
     ·质谱法第17-18页
   ·氢等离子体中氢原子的诊断研究第18-19页
   ·亚稳态氢分子负离子的产生和检测研究第19-21页
   ·本论文的选题和研究思路第21页
 参考文献第21-28页
2 实验装置、实验原理及实验方法第28-42页
   ·实验装置第28-34页
     ·氢等离子体产生装置第28-29页
     ·分子束质谱系统第29-33页
     ·发射光谱系统第33-34页
   ·阈值电离质谱和离子能量分析基本原理第34-35页
   ·发射光谱内标法测定氢原子密度的基本原理第35-37页
   ·发射光谱测定基电子态氢分子振、转温度的基本原理第37-40页
 参考文献第40-42页
3 阈值电离-分子束质谱法对DBD氢等离子体近极板区氢原子的定量研究第42-65页
   ·阈值电离-分子束质谱定量过程中需要解决的问题第42-50页
     ·空间电荷积累效应的研究第42-43页
     ·质谱离化器电子束能量和分布的标定第43-46页
     ·分子束质谱信号的确定第46-47页
     ·质量歧视因子的确定第47-50页
   ·氢原子密度随放电参数变化规律的研究第50-59页
     ·近极板区气体温度的测定第50-52页
     ·近极板区氢原子密度随气压的变化规律第52-56页
     ·近极板区氢原子密度随放电电压的变化规律第56-58页
     ·近极板区氢原子密度随放电频率的变化规律第58-59页
   ·氢原子的产生和消耗过程分析第59-60页
   ·本章小结第60-61页
 参考文献第61-65页
4 发射光谱法对DBD氢等离子体放电区氢原子的定量研究第65-83页
   ·氢氩混合体系等离子体的发射光谱第65-66页
   ·谱线强度随放电参数变化规律的研究第66-70页
     ·氩气加入里对放电体系的影响第66-67页
     ·谱线强度和氢原子激发温度随放电电压、频率的变化规律第67-69页
     ·谱线强度随气压的变化规律第69-70页
   ·氢分子解离率和氢原子密度的计算及其随放电参数的变化规律第70-78页
     ·定量计算所涉及的反应过程第70-74页
     ·解离通道对氢原子密度的贡献第74-75页
     ·放电区氢原子密度随放电参数的变化规律第75-78页
   ·激发态氢原子的空间分布第78-79页
   ·本章小结第79页
 参考文献第79-83页
5 高浓度亚稳态H_2~-/D_2~-离子的产生及检测研究第83-111页
   ·DBD氢/氘等离子体中长寿命H_2~-/D_2~-离子的产生及检测研究第83-97页
     ·长寿命H_2~-离子研究思路和质谱检测第83-86页
     ·H_2~-离子同位素验证和D_2等离子体中氢元素干扰的消除第86-89页
     ·H_2~-离子强度随放电参数变化规律的研究第89-93页
     ·H_2~-离子能量分布和寿命的研究第93-96页
     ·长寿命H_2~-离子稳定存在的理论解释第96-97页
   ·质谱技术对DBD氢等离子体中基电子态氢分子振、转分布的研究第97-99页
   ·发射光谱技术对DBD氢等离子体中基电子态氢分子振、转分布的研究第99-105页
     ·基电子态振动温度的计算第100-103页
     ·基电子态转动温度的计算第103-105页
   ·长寿命H_2~-离子可能形成机理的研究第105-107页
   ·本章小结第107-108页
 参考文献第108-111页
6 结论与展望第111-113页
   ·本研究工作所取得的主要成果第111-112页
   ·展望:有待继续深入研究的问题第112-113页
攻读博士学位期间发表学术论文情况第113-115页
创新点摘要第115-116页
致谢第116-117页

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