摘要 | 第1-7页 |
Abstract | 第7-12页 |
1 绪论 | 第12-28页 |
·氢等离子体与富氢等离子体的研究 | 第12-15页 |
·氢等离子体与富氢等离子体研究的科学意义 | 第12页 |
·氢等离子体的产生方式 | 第12-13页 |
·介质阻挡放电(dielectric barrier dischage 简称 DBD) | 第13-15页 |
·等离子体中活性物种的诊断方式 | 第15-18页 |
·光谱法 | 第15-17页 |
·质谱法 | 第17-18页 |
·氢等离子体中氢原子的诊断研究 | 第18-19页 |
·亚稳态氢分子负离子的产生和检测研究 | 第19-21页 |
·本论文的选题和研究思路 | 第21页 |
参考文献 | 第21-28页 |
2 实验装置、实验原理及实验方法 | 第28-42页 |
·实验装置 | 第28-34页 |
·氢等离子体产生装置 | 第28-29页 |
·分子束质谱系统 | 第29-33页 |
·发射光谱系统 | 第33-34页 |
·阈值电离质谱和离子能量分析基本原理 | 第34-35页 |
·发射光谱内标法测定氢原子密度的基本原理 | 第35-37页 |
·发射光谱测定基电子态氢分子振、转温度的基本原理 | 第37-40页 |
参考文献 | 第40-42页 |
3 阈值电离-分子束质谱法对DBD氢等离子体近极板区氢原子的定量研究 | 第42-65页 |
·阈值电离-分子束质谱定量过程中需要解决的问题 | 第42-50页 |
·空间电荷积累效应的研究 | 第42-43页 |
·质谱离化器电子束能量和分布的标定 | 第43-46页 |
·分子束质谱信号的确定 | 第46-47页 |
·质量歧视因子的确定 | 第47-50页 |
·氢原子密度随放电参数变化规律的研究 | 第50-59页 |
·近极板区气体温度的测定 | 第50-52页 |
·近极板区氢原子密度随气压的变化规律 | 第52-56页 |
·近极板区氢原子密度随放电电压的变化规律 | 第56-58页 |
·近极板区氢原子密度随放电频率的变化规律 | 第58-59页 |
·氢原子的产生和消耗过程分析 | 第59-60页 |
·本章小结 | 第60-61页 |
参考文献 | 第61-65页 |
4 发射光谱法对DBD氢等离子体放电区氢原子的定量研究 | 第65-83页 |
·氢氩混合体系等离子体的发射光谱 | 第65-66页 |
·谱线强度随放电参数变化规律的研究 | 第66-70页 |
·氩气加入里对放电体系的影响 | 第66-67页 |
·谱线强度和氢原子激发温度随放电电压、频率的变化规律 | 第67-69页 |
·谱线强度随气压的变化规律 | 第69-70页 |
·氢分子解离率和氢原子密度的计算及其随放电参数的变化规律 | 第70-78页 |
·定量计算所涉及的反应过程 | 第70-74页 |
·解离通道对氢原子密度的贡献 | 第74-75页 |
·放电区氢原子密度随放电参数的变化规律 | 第75-78页 |
·激发态氢原子的空间分布 | 第78-79页 |
·本章小结 | 第79页 |
参考文献 | 第79-83页 |
5 高浓度亚稳态H_2~-/D_2~-离子的产生及检测研究 | 第83-111页 |
·DBD氢/氘等离子体中长寿命H_2~-/D_2~-离子的产生及检测研究 | 第83-97页 |
·长寿命H_2~-离子研究思路和质谱检测 | 第83-86页 |
·H_2~-离子同位素验证和D_2等离子体中氢元素干扰的消除 | 第86-89页 |
·H_2~-离子强度随放电参数变化规律的研究 | 第89-93页 |
·H_2~-离子能量分布和寿命的研究 | 第93-96页 |
·长寿命H_2~-离子稳定存在的理论解释 | 第96-97页 |
·质谱技术对DBD氢等离子体中基电子态氢分子振、转分布的研究 | 第97-99页 |
·发射光谱技术对DBD氢等离子体中基电子态氢分子振、转分布的研究 | 第99-105页 |
·基电子态振动温度的计算 | 第100-103页 |
·基电子态转动温度的计算 | 第103-105页 |
·长寿命H_2~-离子可能形成机理的研究 | 第105-107页 |
·本章小结 | 第107-108页 |
参考文献 | 第108-111页 |
6 结论与展望 | 第111-113页 |
·本研究工作所取得的主要成果 | 第111-112页 |
·展望:有待继续深入研究的问题 | 第112-113页 |
攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第113-115页 |
创新点摘要 | 第115-116页 |
致谢 | 第116-117页 |