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超薄坡莫合金薄膜各向异性磁电阻研究

中文摘要第1-7页
Abstract第7-9页
第一章 绪论第9-14页
   ·磁电阻效应第9-11页
     ·正常磁电阻(OMR)效应第9页
     ·各向异性磁电阻(AMR)效应第9-10页
     ·巨磁电阻(GMR)效应第10-11页
     ·隧道磁电阻(TMR)效应第11页
   ·研究意义第11-12页
   ·国内外研究现状第12-13页
   ·主要研究内容第13-14页
第二章 薄膜的制备与分析第14-22页
   ·磁控溅射第14-17页
     ·磁控溅射原理第14-15页
     ·射频磁控溅射系统第15-17页
   ·X射线衍射(XRD)第17页
   ·各向异性磁电阻的测量第17-18页
   ·原子力显微镜(AFM)第18-19页
   ·薄膜制备第19-22页
第三章 坡莫合金薄膜各向异性磁电阻的研究第22-40页
   ·基片温度对 Ni_(81)Fe_(19) 薄膜结构和各向异性磁电阻的影响第22-27页
     ·引言第22页
     ·实验方法第22-23页
     ·缓冲层厚度对薄膜各相异性磁电阻的影响第23-24页
     ·基片温度对薄膜各向异性磁电阻的影响第24-26页
     ·结论第26-27页
   ·超薄 Ni_(81)Fe_(19)薄膜各向异性磁电阻及磁性能的研究第27-33页
     ·引言第27页
     ·实验方法第27-28页
     ·缓冲层厚度对薄膜各向异性磁电阻的影响第28页
     ·基片温度对薄膜各向异性磁电阻的影响第28-30页
     ·基片温度对 Ni_(81)Fe_(19)薄膜磁滞回线的影响第30页
     ·基片温度对 Ni_(81)Fe_(19)薄膜结构的影响第30-32页
     ·结论第32-33页
   ·缓冲层类型对超薄 Ni_(81)Fe_(19)薄膜各向异性磁电阻的影响第33-40页
     ·引言第33页
     ·实验方法第33-34页
     ·缓冲层 Cr 含量对 Ni_(81)Fe_(19)薄膜各向异性磁电阻的影响第34-35页
     ·基片温度对 Ni_(81)Fe_(19)薄膜各向异性磁电阻的影响第35-38页
     ·缓冲层厚度对 Ni_(81)Fe_(19)薄膜各向异性磁电阻的影响第38页
     ·缓冲层类型对 Ni_(81)Fe_(19)薄膜各向异性磁电阻的影响第38-39页
     ·结论第39-40页
第四章 总结第40-41页
   ·本论文的主要工作第40页
   ·今后工作的建议第40-41页
参考文献第41-45页
攻读硕士学位期间发表的文章第45-46页
致谢第46页

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