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BiFeO3/La0.7Sr0.3MnO3多层薄膜的制备与表征

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
第一章 绪论第11-26页
   ·多铁材料第11-14页
     ·多铁材料的定义第12页
     ·磁电耦合效应第12-13页
     ·磁电多铁材料的分类第13-14页
   ·单相多铁材料BiFeO_3第14-18页
     ·BiFeO_3 的结构第15页
     ·BiFeO_3 的性能第15-16页
     ·BiFeO_3 的研究现状第16-18页
   ·锰基钙钛矿材料第18-19页
     ·锰基钙钛矿材料的结构第18页
     ·锰基钙钛矿材料的性能第18-19页
     ·锰基钙钛矿巨磁阻材料的研究的现状第19页
       ·Re1-xAxMnO_3 的再掺杂第19页
       ·低场磁电阻(LFMR)第19页
   ·研究的目的及意义第19-21页
 参考文献第21-26页
第二章 实验及原理第26-37页
   ·薄膜的沉积原理第26-28页
     ·形核生长简介第26页
     ·形成薄膜的三种模式第26-27页
     ·形核与生长的物理过程第27-28页
     ·连续薄膜的形成第28页
   ·射频磁控溅射的基本知识第28-31页
     ·射频磁控溅射的原理第28-29页
     ·溅射过程第29-30页
     ·射频磁控溅射(RF- magnetron sputtering)的优点第30页
     ·本文所用射频磁控溅射设备介绍第30-31页
     ·衬底的清洗方法第31页
   ·样品的测试和分析方法第31-36页
     ·晶相结构分析第31-32页
     ·薄膜的厚度测量第32-33页
     ·薄膜的表面形貌及成分分析第33-34页
     ·电学性质测量第34-36页
 参考文献第36-37页
第三章 La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3与BiFeO_3多层膜的制备与研究第37-48页
   ·材料介绍第37-39页
     ·La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3 概述第37-38页
     ·BiFeO_3 概述第38-39页
   ·La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3、BiFeO_3 单层膜工艺参数的确定第39-43页
   ·多层薄膜的表征第43-45页
     ·XRD 表征第43-44页
     ·AFM 表征第44页
     ·TEM 表征第44-45页
   ·成膜速率测算第45-46页
   ·小结第46-47页
 参考文献第47-48页
第四章 不同亚层BiFeO_3/La_(0.7)Sr_(0.3)MnO_3多层薄膜的性质第48-63页
   ·多层膜概述第48页
   ·多层薄膜的制备第48-50页
     ·实验方法第48-49页
     ·周期厚度的控制第49-50页
   ·多层膜的电性能研究第50-59页
     ·电性能测试方法第50-51页
     ·不同子层厚度的电滞回线分析第51-52页
     ·不同子层薄膜的电阻—温度曲线分析第52-56页
     ·不同子层的电诱导现象分析第56页
     ·不同子层的电流—电压曲线分析第56-59页
   ·热处理的影响第59-60页
   ·PL 测试第60页
   ·小结第60-62页
 参考文献第62-63页
第五章 掺杂对BiFeO_3/La_(0.7)Sr_(0.3)M1103多层薄膜的影响第63-69页
   ·掺杂概述第63页
   ·掺杂样品的制备第63页
   ·电性能的测试方法第63-65页
     ·电滞回线第64页
     ·掺杂样品的电诱导现象分析第64-65页
     ·掺杂样品的电流—电压曲线分析第65页
   ·热处理的影响第65-66页
   ·本章小节第66-67页
 参考文献第67-69页
第六章 结论及展望第69-72页
   ·结论第69页
   ·展望第69-72页
致谢第72-73页
硕士期间完成的论文第73页

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