CVD金刚石厚膜的加工技术研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| §1．1 CVD金刚石膜在工具行业中的应用 | 第7-8页 |
| §1．2 CVD金刚石膜关键加工技术 | 第8-12页 |
| §1．2．1 CVD金刚石厚膜的焊接 | 第8-9页 |
| §1．2．2 CVD金刚石厚膜的抛光 | 第9-12页 |
| §1．3 本课题的研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 激光加工金刚石的机理研究 | 第13-28页 |
| §2．1 激光加工金刚石的原理 | 第13-14页 |
| §2．2 激光与金刚石相互作用的物理过程 | 第14-20页 |
| §2．2．1 激光的吸收 | 第14页 |
| §2．2．2 激光的加热 | 第14-17页 |
| §2．2．3 激光与金刚石的相互作用 | 第17-20页 |
| §2．3 激光刻蚀金刚石膜的规律 | 第20-27页 |
| §2．3．1 激光加工的蒸发和破损的基本理论 | 第20-23页 |
| §2．3．2 金刚石膜的激光钻孔的实验研究 | 第23-27页 |
| §2．4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 金刚石厚膜激光切割和抛光的实验研究 | 第28-43页 |
| §3．1 试验装置和预备试验 | 第28-30页 |
| §3．1．1 金刚石膜的原始表面形态 | 第28-29页 |
| §3．1．2 激光加工的装置 | 第29-30页 |
| §3．2 金刚石膜的激光切割 | 第30-32页 |
| §3．2．1 激光切割的工艺试验 | 第30-31页 |
| §3．2．2 激光切割的断口分析 | 第31-32页 |
| §3．3 金刚石膜的激光抛光 | 第32-42页 |
| §3．3．1 激光抛光的工艺试验 | 第32-38页 |
| §3．3．2 金刚石膜的酸洗 | 第38-39页 |
| §3．3．3 实验结果的分析 | 第39-42页 |
| §3．4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 金刚石厚膜机械抛光的实验研究 | 第43-57页 |
| §4．1 机械抛光金刚石膜的原理 | 第43-45页 |
| §4．1．1 机械抛光的微切削原理 | 第43-44页 |
| §4．1．2 金刚石晶体结构及其机械性能 | 第44-45页 |
| §4．2 实验装置和实验方案 | 第45-48页 |
| §4．2．1 抛光装置 | 第45-46页 |
| §4．2．2 胶粘剂的选择 | 第46-47页 |
| §4．2．3 实验方案 | 第47-48页 |
| §4．3 实验结果 | 第48-51页 |
| §4．4 实验结果分析和讨论 | 第51-56页 |
| §4．5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 结论及展望 | 第57-60页 |
| §5．1 本文工作总结 | 第57-58页 |
| §5．2 进一步需开展的研究工作 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读硕士学位期间发表的主要论文 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
