| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1-1 光伏产业发展的现状 | 第9-10页 |
| 1-2 非晶硅薄膜太阳电池 | 第10-12页 |
| 1-2-1 非晶硅太阳电池的特点及发展 | 第10-11页 |
| 1-2-2 非晶太阳电池存在的问题和解决方法 | 第11-12页 |
| 1-3 氧化锌铝（ZnO:Al）薄膜 | 第12-16页 |
| 1-3-1 氧化锌铝薄膜的结构特性 | 第12页 |
| 1-3-2 氧化锌铝薄膜的电学性能 | 第12-13页 |
| 1-3-3 氧化锌铝薄膜的光学性能 | 第13页 |
| 1-3-4 ZnO 薄膜的制备方法 | 第13-16页 |
| 1-4 本论文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 第二章 理论基础和实验方法 | 第17-30页 |
| 2-1 理论基础 | 第17-25页 |
| 2-1-1 太阳能电池工作原理 | 第17-19页 |
| 2-1-2 太阳能电池的特征参数 | 第19-22页 |
| 2-1-3 薄膜电池的陷光作用 | 第22-24页 |
| 2-1-4 薄膜太阳能电池的背反射电极 | 第24-25页 |
| 2-2 实验介绍 | 第25-28页 |
| 2-2-1 PECVD 原理 | 第25-27页 |
| 2-2-2 非晶硅电池的实验设备及过程 | 第27页 |
| 2-2-3 薄膜的制备方法和设备 | 第27-28页 |
| 2-3 试验用到的测试方法和设备 | 第28-30页 |
| 2-3-1 用模拟器测试薄膜太阳能电池的光电转化效率 | 第28页 |
| 2-3-2 用椭偏仪测试薄膜厚度 | 第28-29页 |
| 2-3-3 用分光光度计测试薄膜透过率和反射率 | 第29-30页 |
| 第三章 n 层的沉积条件对电池性能的影响 | 第30-37页 |
| 3-1 n 层的沉积时间对电池性能的影响 | 第30-32页 |
| 3-2 n 层的沉积温度对电池性能的影响 | 第32-34页 |
| 3-3 n 层硅烷浓度的变化对电池性能的影响 | 第34-36页 |
| 3-4 小结 | 第36-37页 |
| 第四章 磁控溅射条件对电池性能的影响 | 第37-49页 |
| 4-1 溅射ZnO:Al 薄膜的厚度对电池的影响 | 第37-41页 |
| 4-2 磁控溅射氧氩比对电池的影响 | 第41-44页 |
| 4-3 溅射反应压力对电池性能的影响 | 第44-46页 |
| 4-4 溅射靶距对电池的影响 | 第46-48页 |
| 4-5 小结 | 第48-49页 |
| 第五章 磁控溅射条件对津能电池的影响 | 第49-55页 |
| 5-1 溅射压力对津能电池的影响 | 第49-50页 |
| 5-2 溅射靶距对津能电池的影响 | 第50-52页 |
| 5-3 溅射ZnO:Al 的厚度对津能电池的影响 | 第52-53页 |
| 5-4 溅射氧氩比对津能电池性能的影响 | 第53-54页 |
| 5-5 小结 | 第54-55页 |
| 第六章 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60页 |