| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-10页 |
| 目录 | 第10-12页 |
| 符号说明 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-30页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·课题的提出 | 第13-14页 |
| ·课题研究意义 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-27页 |
| ·蓝宝石衬底的精密加工现状 | 第15-18页 |
| ·脆硬材料延性域加工研究现状 | 第18-21页 |
| ·表面接触模型与真实接触面积和压力计算和仿真现状 | 第21-26页 |
| ·微纳米力学性能测试研究现状 | 第26-27页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第27-28页 |
| ·本文的结构安排 | 第28-30页 |
| 第二章 蓝宝石衬底的延脆性临界转变条件研究 | 第30-50页 |
| ·问题的提出 | 第30-31页 |
| ·蓝宝石延性研磨的可行性分析 | 第31-33页 |
| ·蓝宝石衬底的物理特性 | 第31-32页 |
| ·蓝宝石衬底的延性域特征 | 第32-33页 |
| ·蓝宝石纳米压痕测试 | 第33-46页 |
| ·纳米压痕的测量原理 | 第33-35页 |
| ·纳米压痕硬度与弹性模量的模型 | 第35-39页 |
| ·蓝宝石纳米压痕试验方案设计 | 第39页 |
| ·蓝宝石纳米压痕试验 | 第39-44页 |
| ·磨粒的尖端形状对蓝宝石延性—脆性转变的影响 | 第44-46页 |
| ·蓝宝石衬底纳米划入试验 | 第46-49页 |
| ·工件的划痕试验 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第三章 半固着磨具与工件的微接触行为分析 | 第50-64页 |
| ·半固着磨具的概述 | 第51-53页 |
| ·半固着磨具与工件的微接触模型 | 第53-55页 |
| ·工程粗糙表面的微接触的统计理论分析 | 第53-54页 |
| ·蓝宝石衬底与半固着磨具的实际接触分析 | 第54-55页 |
| ·半固着磨具与蓝宝石接触的分形模拟 | 第55-59页 |
| ·传统的单一尺度模型的缺陷 | 第55页 |
| ·半固着磨具表面形貌的的分形模型 | 第55-58页 |
| ·半固着磨具与蓝宝石工件微接触分析 | 第58-59页 |
| ·半固着磨具与蓝宝石工件接触试验验证 | 第59-62页 |
| ·半固着磨具与工件的接触试验 | 第60页 |
| ·接触面积的数字图像提取 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 蓝宝石半固着磨具研磨加工试验研究 | 第64-77页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·延性域研磨加工的数学模型与试验条件和研磨参数选择 | 第64-66页 |
| ·延性域加工的数学模型 | 第64-65页 |
| ·研磨加工试验条件与参数 | 第65-66页 |
| ·半固着磨具与游离磨粒试验对比分析 | 第66-75页 |
| ·游离磨粒的蓝宝石研磨加工试验 | 第66-72页 |
| ·基于半固着磨具的蓝宝石研磨加工试验 | 第72-75页 |
| ·蓝宝石衬底的抛光加工 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 半固着磨具延性域研磨蓝宝石评价方法 | 第77-89页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·XRD小角掠入方法研究亚表面变质层 | 第77-83页 |
| ·XRD的基本原理 | 第77-78页 |
| ·XRD小角掠入方法测试变质层厚度原理 | 第78-81页 |
| ·蓝宝石对X—Ray的吸收系数 | 第81-82页 |
| ·X-Ray小角度掠入试验 | 第82-83页 |
| ·纳米压入试验分析亚表面损伤层厚度 | 第83-87页 |
| ·Nano Indenter XP(?)系统的稳定性和可靠性验证 | 第84-85页 |
| ·亚表面损伤层厚度 | 第85-87页 |
| ·TEM测试验证 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第六章 结论与展望 | 第89-92页 |
| ·结论 | 第89-90页 |
| ·本文的创新之处 | 第90页 |
| ·展望 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第99页 |