闭环微加速度计系统性能分析与优化
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第1章 绪论 | 第8-18页 |
·引言 | 第8-9页 |
·国内外研究状况 | 第9-16页 |
·国外发展状 | 第9-15页 |
·国内发展状 | 第15-16页 |
·研究目的和意义 | 第16-17页 |
·研究内容 | 第17-18页 |
第2章 闭环微加速度计工作原理 | 第18-26页 |
·引言 | 第18页 |
·微结构工作原理 | 第18-19页 |
·差动电容检测原理 | 第19-21页 |
·闭环加速度计 | 第21-25页 |
·静电力反馈工作原理 | 第21-22页 |
·闭环加速度计工作原理 | 第22-24页 |
·闭环系统动态响应方程 | 第24-25页 |
·本章小结 | 第25-26页 |
第3章 系统噪声分析 | 第26-33页 |
·结构机械噪声 | 第26页 |
·电学噪声 | 第26-29页 |
·前置放大器噪声 | 第26-28页 |
·KT/C 噪声 | 第28页 |
·参考电压噪声 | 第28页 |
·质量块随机游走噪声 | 第28-29页 |
·相关双采样技术 | 第29-30页 |
·测试与优化 | 第30-32页 |
·本章小结 | 第32-33页 |
第4章 系统稳定性分析 | 第33-48页 |
·系统稳定性 | 第33-39页 |
·PID 控制器 | 第35-36页 |
·PI 控制(KD= 0 ) | 第36-37页 |
·PD 控制(KI= 0 ) | 第37页 |
·仿真与测试 | 第37-39页 |
·偏置计稳定性 | 第39-47页 |
·系统温漂 | 第39-44页 |
·系统偏置稳定性测试与分析 | 第44-47页 |
·本章小结 | 第47-48页 |
结论 | 第48-49页 |
参考文献 | 第49-53页 |
攻读学位期间发表的学术论文 | 第53-55页 |
致谢 | 第55页 |