| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·铁电材料及铁电薄膜概述 | 第10-17页 |
| ·NA_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3材料的研究与发展 | 第17-18页 |
| ·NA_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的研究现状 | 第18-19页 |
| ·铁电薄膜的基本性能指标 | 第19-22页 |
| ·研究目的与主要内容 | 第22-24页 |
| 2 薄膜制备技术及分析测试方法 | 第24-36页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·铁电薄膜的制备方法 | 第24-28页 |
| ·掺杂钛酸铋钠薄膜的MOSD 法制备 | 第28-32页 |
| ·分析测试技术 | 第32-36页 |
| 3 锶掺杂钛酸铋钠薄膜的结构与性能研究 | 第36-47页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·NBT-ST 薄膜的结晶性质 | 第36-41页 |
| ·NBT-ST 薄膜的铁电性质 | 第41-44页 |
| ·NBT-ST 薄膜的介电性质 | 第44-45页 |
| ·结论 | 第45-47页 |
| 4 钙掺杂钛酸铋钠薄膜的结构与性能研究 | 第47-57页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·NBT-CT 薄膜的结晶性质 | 第47-51页 |
| ·NBT-CT 薄膜的铁电性质 | 第51-53页 |
| ·NBT-CT 薄膜的介电性质 | 第53-55页 |
| ·结论 | 第55-57页 |
| 5 结论与展望 | 第57-60页 |
| ·结论 | 第57-58页 |
| ·创新点 | 第58页 |
| ·展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67页 |
| 攻读硕士学位期间参与项目 | 第67-68页 |