精密晶圆检测仪光学系统的设计与实验
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·本课题研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| ·微观表面形貌测量技术 | 第9-12页 |
| ·机械探针式测量方法 | 第9页 |
| ·光学探针式测量方法 | 第9-10页 |
| ·非光学式扫描显微镜法 | 第10-12页 |
| ·光学测试方法 | 第12-14页 |
| ·本文主要研究工作 | 第14-16页 |
| 第2章 光学表面缺陷检测技术 | 第16-22页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·干涉法进行表面缺陷检测 | 第16-18页 |
| ·表面缺陷检测的衍射法 | 第18-19页 |
| ·全息干涉术 | 第19-20页 |
| ·表面特征检测的扫描技术 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 相移偏振干涉测量原理 | 第22-29页 |
| ·偏振干涉的基本原理 | 第22-26页 |
| ·相移干涉术 | 第26-28页 |
| ·步进相移法 | 第26-27页 |
| ·偏振相移法 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 实验系统的原理与设计 | 第29-36页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·光学元件成像特性 | 第29-30页 |
| ·沃拉斯顿棱镜 | 第30-31页 |
| ·平行平板晶体 | 第31-34页 |
| ·光学系统结构 | 第34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第5章 光路系统的实现与实验结果分析 | 第36-42页 |
| ·测量样品与实验装置 | 第36页 |
| ·光学系统的器件选择 | 第36-38页 |
| ·光源的选择 | 第37页 |
| ·分光棱镜的选择 | 第37-38页 |
| ·平行平晶的选择 | 第38页 |
| ·CMOS图像传感器 | 第38页 |
| ·系统的分辨率 | 第38-39页 |
| ·实验结果 | 第39-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 结论 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-47页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49页 |
