| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-30页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 飞秒激光微纳加工技术的优点 | 第13-16页 |
| 1.3 飞秒激光微纳加工技术在不同材料加工领域的应用 | 第16-28页 |
| 1.3.1 金属和半导体材料表面微加工 | 第17-18页 |
| 1.3.2 光聚合材料内部三维成型 | 第18-24页 |
| 1.3.3 透明固体材料内部改性 | 第24-28页 |
| 1.4 课题意义及本论文主要研究内容 | 第28-30页 |
| 第2章 钙钛矿表面微纳结构的飞秒激光烧蚀加工研究 | 第30-44页 |
| 2.1 问题的提出 | 第30-31页 |
| 2.2 有机-无机杂化钙钛矿结构及其制备方法 | 第31-33页 |
| 2.3 飞秒激光烧蚀加工工艺流程 | 第33-34页 |
| 2.4 飞秒激光烧蚀加工工艺参数与分辨率的关系 | 第34-37页 |
| 2.5 二维图案化结构的加工 | 第37-39页 |
| 2.6 加工区域荧光特性的表征 | 第39-42页 |
| 2.7 本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 铌酸锂三维非线性光子晶体的飞秒激光直写加工研究 | 第44-66页 |
| 3.1 问题的提出 | 第44-46页 |
| 3.2 二维非线性光子晶体的制备 | 第46-55页 |
| 3.2.1 准相位匹配原理 | 第46页 |
| 3.2.2 飞秒激光直写加工工艺流程 | 第46-47页 |
| 3.2.3 折射率变化的测定 | 第47-51页 |
| 3.2.4 二维非线性光子晶体结构的设计及加工 | 第51-52页 |
| 3.2.5 二维非线性光子晶体准相位匹配二次谐波测量 | 第52-54页 |
| 3.2.6 非线性Talbot效应的测量 | 第54-55页 |
| 3.3 三维非线性光子晶体的制备 | 第55-62页 |
| 3.3.1 三维非线性光子晶体结构的设计 | 第55-56页 |
| 3.3.2 三维非线性光子晶体结构的工艺参数优化 | 第56-60页 |
| 3.3.3 三维非线性光子晶体准相位匹配二次谐波测量 | 第60-62页 |
| 3.4 非线性光场调制 | 第62-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-66页 |
| 第4章 聚合物三维微笼的飞秒激光全息加工研究 | 第66-90页 |
| 4.1 问题的提出 | 第66-67页 |
| 4.2 飞秒马修光的生成 | 第67-73页 |
| 4.2.1 马修光束数学表达式 | 第68-70页 |
| 4.2.2 基于空间光调制器的飞秒激光双光子加工工艺流程 | 第70-71页 |
| 4.2.3 全息图预处理 | 第71-72页 |
| 4.2.4 马修光束无衍射特性检测 | 第72-73页 |
| 4.3 4f透镜组的焦距比例对聚焦光场的影响 | 第73-76页 |
| 4.4 马修光束的特征参数对聚焦光场的影响 | 第76-81页 |
| 4.5 动态全息加工制备三维微笼结构 | 第81-83页 |
| 4.6 三维微笼结构用于SiO_2粒子的捕获及筛选 | 第83-85页 |
| 4.7 三维微笼结构用于酵母菌的捕获及培养 | 第85-88页 |
| 4.8 本章小结 | 第88-90页 |
| 第5章 玻璃三维多层微流控芯片的化学刻蚀辅助飞秒激光直写加工研究 | 第90-108页 |
| 5.1 问题的提出 | 第90-91页 |
| 5.2 化学刻蚀辅助飞秒激光直写技术工艺流程 | 第91-94页 |
| 5.3 化学刻蚀辅助飞秒激光直写技术制备三维多层微管道 | 第94-101页 |
| 5.3.1 飞秒激光直写能量优化 | 第94-95页 |
| 5.3.2 预补偿层扫描策略 | 第95-101页 |
| 5.4 飞秒激光双光子加工技术集成微结构 | 第101-104页 |
| 5.4.1 优化前烘时间 | 第101-102页 |
| 5.4.2 优化激光能量 | 第102-103页 |
| 5.4.3 优化显影时间 | 第103-104页 |
| 5.5 双面加工八层微流控芯片 | 第104-107页 |
| 5.6 本章小结 | 第107-108页 |
| 第6章 总结与展望 | 第108-112页 |
| 6.1 论文的主要研究内容 | 第108-109页 |
| 6.2 论文的创新之处 | 第109页 |
| 6.3 论文工作展望 | 第109-112页 |
| 参考文献 | 第112-124页 |
| 致谢 | 第124-126页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第126页 |
