| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 磁性薄膜 | 第11-13页 |
| 1.1.1 磁性薄膜的分类 | 第11页 |
| 1.1.2 磁性薄膜的特点 | 第11-12页 |
| 1.1.3 磁性薄膜的应用 | 第12-13页 |
| 1.2 软磁薄膜 | 第13-14页 |
| 1.3 本论文的选题背景及研究内容 | 第14-17页 |
| 第二章 理论基础 | 第17-25页 |
| 2.1 磁性材料的静态磁性参数 | 第17-18页 |
| 2.2 磁性薄膜的磁各向异性 | 第18-24页 |
| 2.2.1 磁性薄膜中磁各向异性的起源 | 第18页 |
| 2.2.2 磁性薄膜中磁各向异性的分类 | 第18-22页 |
| 2.2.3 磁性薄膜中磁各向异性的调控方法 | 第22-24页 |
| 2.3 磁性薄膜的高频磁谱 | 第24-25页 |
| 第三章 磁性薄膜的制备与性能表征 | 第25-32页 |
| 3.1 磁控溅射法制备磁性薄膜 | 第25-26页 |
| 3.2 形貌表征 | 第26-28页 |
| 3.2.1 原子力显微镜 | 第26-27页 |
| 3.2.2 扫描电子显微镜 | 第27-28页 |
| 3.3 磁性能表征 | 第28-32页 |
| 3.3.1 振动样品磁强计 | 第28-29页 |
| 3.3.2 磁学测量系统 | 第29-30页 |
| 3.3.3 矢量网络分析仪 | 第30-32页 |
| 第四章 倾斜溅射制备硬衬底磁性薄膜磁各向异性的研究 | 第32-50页 |
| 4.1 引言 | 第32页 |
| 4.2 磁性薄膜的制备 | 第32-33页 |
| 4.3 倾斜溅射及温度对FeCOTa磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第33-39页 |
| 4.3.1 倾斜溅射角度对FeCoTa薄膜磁各向异性的影响 | 第33-35页 |
| 4.3.2 薄膜形貌对倾斜溅射FeCoTa磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第35-37页 |
| 4.3.3 温度对FeCoTa磁性薄膜磁各向异性的调控 | 第37-39页 |
| 4.3.4 本节小结 | 第39页 |
| 4.4 倾斜溅射及温度对FeCOB磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第39-44页 |
| 4.4.1 倾斜溅射角度对FeCoB薄膜磁各向异性的影响 | 第39-41页 |
| 4.4.2 薄膜形貌对倾斜溅射FeCoB磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第41-42页 |
| 4.4.3 温度对FeCoB磁性薄膜磁各向异性的调控 | 第42-44页 |
| 4.4.4 本节小结 | 第44页 |
| 4.5 倾斜溅射及温度对FeNi磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第44-49页 |
| 4.5.1 倾斜溅射角度对FeNi薄膜磁各向异性的影响 | 第44-46页 |
| 4.5.2 薄膜形貌对倾斜溅射FeNi磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第46-47页 |
| 4.5.3 温度对FeNi磁性薄膜磁各向异性的调控 | 第47-48页 |
| 4.5.4 本节小结 | 第48-49页 |
| 4.6 本章总结 | 第49-50页 |
| 第五章 温度对柔性衬底PVDF上磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第50-85页 |
| 5.1 引言 | 第50-51页 |
| 5.2 柔性磁性薄膜的制备 | 第51-52页 |
| 5.2.1 聚偏氟乙烯(PVDF)膜 | 第51-52页 |
| 5.2.2 柔性衬底(PVDF)磁性薄膜的制备 | 第52页 |
| 5.3 倾斜溅射对柔性FeCOTa磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第52-63页 |
| 5.3.1 倾斜溅射角度对柔性FeCoTa薄膜磁各向异性的影响 | 第52-55页 |
| 5.3.2 温度对柔性FeCoTa薄膜磁各向异性的影响 | 第55-60页 |
| 5.3.3 FeCoTa磁谱 | 第60-63页 |
| 5.3.4 本节小结 | 第63页 |
| 5.4 倾斜溅射对柔性FeCOB磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第63-73页 |
| 5.4.1 倾斜溅射角度对柔性FeCoB薄膜磁各向异性的影响 | 第63-66页 |
| 5.4.2 温度对柔性FeCoB薄膜磁各向异性的影响 | 第66-70页 |
| 5.4.3 FeCoB磁谱 | 第70-73页 |
| 5.4.4 本节小结 | 第73页 |
| 5.5 倾斜溅射对柔性FeNi磁性薄膜磁各向异性的影响 | 第73-83页 |
| 5.5.1 倾斜溅射角度对柔性FeNi薄膜磁各向异性的影响 | 第73-76页 |
| 5.5.2 温度对柔性FeNi薄膜磁各向异性的影响 | 第76-80页 |
| 5.5.3 FeNi磁谱 | 第80-83页 |
| 5.5.4 本节小结 | 第83页 |
| 5.6 本章总结 | 第83-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| 6.1 论文总结 | 第85-86页 |
| 6.2 论文展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-92页 |
| 在学期间的研究成果 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93页 |
