| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 引言 | 第11-13页 |
| 1.2 晶片切割技术发展概况 | 第13-18页 |
| 1.2.1 外圆切割技术 | 第15页 |
| 1.2.2 内圆切割技术 | 第15-16页 |
| 1.2.3 线锯切割技术 | 第16-18页 |
| 1.3 国内外研究发展现状 | 第18-27页 |
| 1.3.1 线锯锯丝的国内外发展及研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3.2 微细加工成型技术的国内外研究现状 | 第21-24页 |
| 1.3.3 绕线设备的国内外发展及研究现状 | 第24-27页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第27-31页 |
| 第2章 亚固结磨料线锯微细槽成型方法研究 | 第31-39页 |
| 2.1 硅晶片多线锯切割技术的机理及其特点 | 第31-34页 |
| 2.1.1 游离磨料线锯的切割机理及特点 | 第31-32页 |
| 2.1.2 固结磨料线锯的切割机理及特点 | 第32-34页 |
| 2.2 亚固结磨料线锯切割方法的提出 | 第34页 |
| 2.3 亚固结磨料线锯切割机理及锯丝特点 | 第34-36页 |
| 2.4 亚固结磨料锯丝表面微细槽成型方法研究 | 第36-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-39页 |
| 第3章 亚固结磨料线锯冷绕成型机理研究 | 第39-51页 |
| 3.1 亚固结磨料锯丝的冷绕成型过程分析 | 第39-40页 |
| 3.2 冷绕锯丝的弹塑性弯曲分析与计算 | 第40-43页 |
| 3.2.1 冷绕外线弯曲成型的基本假设 | 第40页 |
| 3.2.2 冷绕外线弯曲成型的弹塑性分析 | 第40-41页 |
| 3.2.3 双边弹塑性阶段弯矩与弯曲半径的关系 | 第41-43页 |
| 3.3 冷绕锯丝的卸载回弹分析与计算 | 第43-48页 |
| 3.3.1 冷绕外线的卸载回弹分析 | 第44-46页 |
| 3.3.2 亚固结磨料锯丝冷绕成型线径计算及实验 | 第46-48页 |
| 3.4 弯曲回弹的影响因素与控制措施 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-51页 |
| 第4章 亚固结磨料锯丝冷绕设备设计开发 | 第51-75页 |
| 4.1 基于TRIZ理论的总体方案设计 | 第51-56页 |
| 4.1.1 TRIZ理论的主要原理及方法 | 第51-52页 |
| 4.1.2 冷绕锯丝设备设计问题描述 | 第52-53页 |
| 4.1.3 问题分析与矛盾矩阵建立 | 第53-55页 |
| 4.1.4 设备总体设计方案及工作原理流程 | 第55-56页 |
| 4.2 锯丝成型的运动关系分析及设备的设计技术参数 | 第56-58页 |
| 4.2.1 锯丝成型的运动关系模型及其基本假设 | 第56-57页 |
| 4.2.2 设备运动关系分析及设计技术参数确定 | 第57-58页 |
| 4.3 设备主要机构的设计与分析 | 第58-70页 |
| 4.3.1 放线机构的设计与分析 | 第59-60页 |
| 4.3.2 送线机构的设计与分析 | 第60-62页 |
| 4.3.3 绕线机构的设计与分析 | 第62-65页 |
| 4.3.4 稳线机构的设计与分析 | 第65-67页 |
| 4.3.5 收、排线机构的设计与分析 | 第67-69页 |
| 4.3.6 浸胶机构及设备机架的设计与分析 | 第69-70页 |
| 4.4 设备的张力控制方案设计 | 第70-72页 |
| 4.4.1 进给内线的张力控制方案 | 第70-71页 |
| 4.4.2 冷绕外线的张力控制方案 | 第71-72页 |
| 4.5 亚固结磨料锯丝冷绕成型设备制造 | 第72-73页 |
| 4.6 本章小结 | 第73-75页 |
| 第5章 亚固结磨料线锯锯丝的制备 | 第75-83页 |
| 5.1 亚固结磨料锯丝的性能要求及材料选择 | 第75-77页 |
| 5.1.1 基体内线的性能要求及材料选择 | 第75-76页 |
| 5.1.2 冷绕外线的性能要求及材料选择 | 第76-77页 |
| 5.2 亚固结磨料锯丝的制备试验 | 第77-79页 |
| 5.3 试制亚固锯丝的质量检测 | 第79-80页 |
| 5.3.1 试制亚固结磨料锯丝的外观检测 | 第79-80页 |
| 5.3.2 试制亚固结磨料锯丝的尺寸检测 | 第80页 |
| 5.4 亚固结磨料锯丝的切割性能指标 | 第80-81页 |
| 5.4.1 亚固结磨料锯丝的切割效率 | 第81页 |
| 5.4.2 亚固结磨料锯丝的切缝宽度 | 第81页 |
| 5.5 本章小结 | 第81-83页 |
| 第6章 亚固结磨料线锯切割实验研究 | 第83-99页 |
| 6.1 实验的目的与方法 | 第83-84页 |
| 6.2 实验的设备与条件 | 第84-86页 |
| 6.3 对比实验方案设计 | 第86-88页 |
| 6.4 实验的结果与分析 | 第88-98页 |
| 6.4.1 锯丝切割弓角的观测与分析 | 第88-93页 |
| 6.4.2 锯丝材料去除率的计算与分析 | 第93页 |
| 6.4.3 锯丝切缝宽度的观测与分析 | 第93-96页 |
| 6.4.4 切后锯丝与切片的观测与分析 | 第96-98页 |
| 6.5 本章小结 | 第98-99页 |
| 第7章 总结与展望 | 第99-103页 |
| 7.1 工作总结 | 第99-100页 |
| 7.2 创新点及难点 | 第100-101页 |
| 7.3 研究展望 | 第101-103页 |
| 参考文献 | 第103-107页 |
| 致谢 | 第107-109页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第109页 |