| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 符号对照表 | 第12-13页 |
| 缩略语对照表 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 4H-SiC材料高温应用优势 | 第16-18页 |
| 1.2 4H-SiC器件高温应用研究进展 | 第18-21页 |
| 1.3 高温欧姆接触研究 | 第21-22页 |
| 1.4 本文主要工作 | 第22-24页 |
| 第二章 4H-SiC PiN二极管结构设计和热分析 | 第24-36页 |
| 2.1 4H-SiC PiN二极管物理模型 | 第24-28页 |
| 2.2 外延参数设计 | 第28-31页 |
| 2.3 4H-SiC PiN热稳定性仿真与分析 | 第31-35页 |
| 2.3.1 PiN二极管直流特性仿真 | 第31-32页 |
| 2.3.2 自热效应对器件的影响 | 第32-34页 |
| 2.3.3 封装热阻对器件的影响 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 4H-SiC欧姆接触研究 | 第36-56页 |
| 3.1 4H-SiC欧姆接触形成机制与制备流程 | 第36-40页 |
| 3.1.1 欧姆接触形成机制 | 第36-40页 |
| 3.2 欧姆接触表征方法 | 第40-45页 |
| 3.2.1 两种常用欧姆接触电阻的测试方法 | 第40-43页 |
| 3.2.2 常用欧姆接触表征方法 | 第43-45页 |
| 3.3 Pt/TaSi_2/W/Ni/SiC欧姆接触研究 | 第45-52页 |
| 3.3.1 I-V测试与分析 | 第45-50页 |
| 3.3.2 热稳定性测试与分析 | 第50-52页 |
| 3.4 Pt/TaSi_2/Al/Ti/Ni/SiC欧姆接触研究 | 第52-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 4H-SiC高温桥式整流器设计 | 第56-62页 |
| 4.1 桥式整流器工作原理 | 第56-57页 |
| 4.2 主要工艺流程与版图 | 第57-60页 |
| 4.3 桥式整流器的pspice仿真 | 第60-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 作者简介 | 第70-71页 |
| 1.基本情况 | 第70页 |
| 2.教育背景 | 第70页 |
| 3.攻读硕士学位期间的研究成果 | 第70-71页 |
