紫外LED照明均匀性实时检测系统研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 研究目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 紫外照明系统应用领域 | 第9-16页 |
| 1.2.1 紫外光刻技术 | 第9-12页 |
| 1.2.2 紫外固化技术 | 第12-16页 |
| 1.3 照明系统均匀性检测技术研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 紫外LED照明均匀性实时检测系统总体方案 | 第19-28页 |
| 2.1 紫外LED照明系统介绍 | 第19-23页 |
| 2.1.1 面阵直照型紫外LED照明系统 | 第19-21页 |
| 2.1.2 弧形面阵照射式紫外LED照明系统 | 第21-22页 |
| 2.1.3 紫外照明系统照度均匀性测试方法 | 第22-23页 |
| 2.2 检测方法比较与系统总体方案设计 | 第23-26页 |
| 2.2.1 CCD图像法 | 第23-24页 |
| 2.2.2 逐点检测法 | 第24-25页 |
| 2.2.3 总体方案设计 | 第25-26页 |
| 2.3 系统设计要求 | 第26-28页 |
| 第三章 紫外LED照明均匀性实时检测系统设计 | 第28-47页 |
| 3.1 探测器单元设计 | 第28-41页 |
| 3.1.1 光电探测器的主要参数 | 第28-29页 |
| 3.1.2 光电探测器影响因素 | 第29-33页 |
| 3.1.3 电流-电压放大电路设计 | 第33-41页 |
| 3.1.4 多路探测的影响因素 | 第41页 |
| 3.2 数据处理单元设计 | 第41-43页 |
| 3.2.1 数据处理单元工作电路 | 第42页 |
| 3.2.2 电源管理模块 | 第42-43页 |
| 3.3 软件设计 | 第43-47页 |
| 3.3.1 数据处理单元软件设计 | 第43-45页 |
| 3.3.2 人机交互单元软件设计 | 第45-47页 |
| 第四章 测试与分析 | 第47-58页 |
| 4.1 实验平台搭建 | 第47-50页 |
| 4.2 探测器单元的标定 | 第50-52页 |
| 4.2.1 标定原理 | 第50页 |
| 4.2.2 标定步骤 | 第50页 |
| 4.2.3 标定结果 | 第50-52页 |
| 4.3 探测器单元稳定性测试 | 第52-53页 |
| 4.4 检测系统温度实验 | 第53-56页 |
| 4.5 检测系统准确度测试 | 第56-57页 |
| 4.6 误差分析与解决方法 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 5.1 工作总结 | 第58页 |
| 5.2 未来展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 攻读学位期间公开发表论文 | 第64页 |
