| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 类金刚石薄膜概述 | 第9-16页 |
| 1.2.1 类金刚石薄膜的组织结构 | 第9-11页 |
| 1.2.2 类金刚石薄膜的制备方法 | 第11-14页 |
| 1.2.3 类金刚石薄膜的应用 | 第14-16页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的研究现状及存在问题 | 第16-19页 |
| 1.4 课题的选题依据和主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 实验与分析测试方法 | 第21-25页 |
| 2.1 实验所用原料和设备 | 第21-22页 |
| 2.2 薄膜厚度及形貌表征 | 第22-23页 |
| 2.2.1 台阶仪 | 第22-23页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜(SEM) | 第23页 |
| 2.2.3 光学显微镜 | 第23页 |
| 2.3 薄膜成分及结构表征 | 第23页 |
| 2.3.1 X射线能量色散光谱仪(EDX) | 第23页 |
| 2.3.2 拉曼光谱 | 第23页 |
| 2.4 薄膜力学性能表征 | 第23-24页 |
| 2.4.1 硬度 | 第23-24页 |
| 2.4.2 断裂韧性 | 第24页 |
| 2.5 薄膜结合强度表征 | 第24页 |
| 2.6 薄膜摩擦学性能表征 | 第24-25页 |
| 第3章 CrC过渡层DLC薄膜的组织及机械性能研究 | 第25-47页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 制备参数对CrC过渡层组织及机械性能影响 | 第25-34页 |
| 3.2.1 CrC薄膜的制备与性能评价 | 第25-27页 |
| 3.2.2 乙炔进气量对CrC薄膜的组织及力学性能影响 | 第27-30页 |
| 3.2.3 厚度对CrC薄膜的组织及力学性能的影响 | 第30-31页 |
| 3.2.4 基底偏压对CrC薄膜的组织及力学性能影响 | 第31-33页 |
| 3.2.5 (Cr/CrC)_x多层结构的制备与力学性能分析 | 第33-34页 |
| 3.3 不同CrC过渡层对DLC薄膜机械性能影响 | 第34-46页 |
| 3.3.1 CrC梯度过渡层及多层结构复合DLC薄膜的制备 | 第34-35页 |
| 3.3.2 不同乙炔进气量CrC梯度过渡层对DLC机械性能影响 | 第35-39页 |
| 3.3.3 不同膜厚的CrC梯度过渡层对DLC机械性能影响 | 第39-42页 |
| 3.3.4 不同偏压制备的CrC梯度过渡层对DLC机械性能影响 | 第42-44页 |
| 3.3.5 (Cr/CrC)_x多层结构过渡层对DLC机械性能影响 | 第44-46页 |
| 3.4 本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 新型WC过渡层对DLC组织及机械性能的影响 | 第47-68页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 PACVD复合PVD工艺及WC过渡层DLC的制备 | 第47-51页 |
| 4.2.1 PACVD复合PVD工艺 | 第47-50页 |
| 4.2.2 WC过渡层DLC的制备 | 第50-51页 |
| 4.3 WC过渡层DLC的组织形貌分析 | 第51-54页 |
| 4.4 不同类型WC过渡层复合DLC薄膜的机械性能分析 | 第54-67页 |
| 4.4.1 不同类型WC过渡层的力学性能分析 | 第54-56页 |
| 4.4.2 不同类型WC过渡层DLC薄膜的结合强度分析 | 第56-60页 |
| 4.4.3 不同类型WC过渡层DLC薄膜的摩擦学性能分析 | 第60-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
