| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 前言 | 第9-10页 |
| 1.2 ZnO概述 | 第10-13页 |
| 1.2.1 ZnO的基本性质 | 第10-11页 |
| 1.2.2 ZnO光学特性 | 第11-12页 |
| 1.2.3 ZnO的电学特性 | 第12-13页 |
| 1.2.4 ZnO的压电气敏特性 | 第13页 |
| 1.3 ZnO-TCO的研究现状及其制备技术 | 第13-16页 |
| 1.3.1 TCO透明导电氧化物的研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3.2 ZnO-TCO薄膜的制备主流技术 | 第14-16页 |
| 1.4 论文的主要内容和结构安排 | 第16-17页 |
| 第2章 实验方法和分析测试技术 | 第17-25页 |
| 2.1 LPCVD设备系统组成及原理 | 第17-18页 |
| 2.2 实验设备及工作原理 | 第18-21页 |
| 2.2.1 实验设备 | 第18-20页 |
| 2.2.2 LPCVD-BZO薄膜的生长机理 | 第20-21页 |
| 2.3 BZO薄膜的表征 | 第21-25页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜（SEM） | 第21-22页 |
| 2.3.2 霍尔测试(Hall) | 第22-23页 |
| 2.3.3 Perkin-Elmer 750分光光度计 | 第23-24页 |
| 2.3.4 电流一电压(I-V)测试 | 第24-25页 |
| 第3章 LPCVD沉积制备BZO透明导电薄膜及其性能的研究 | 第25-43页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 沉积时间对ZnO薄膜特性的影响 | 第25-31页 |
| 3.2.1 微观形貌 | 第26-27页 |
| 3.2.2 导电性能 | 第27-28页 |
| 3.2.3 光学减反性能 | 第28-30页 |
| 3.2.4 本节总结 | 第30-31页 |
| 3.3 不同B_2H_6掺杂流量对ZnO薄膜特性的影响 | 第31-36页 |
| 3.3.1 微观形貌 | 第31-32页 |
| 3.3.2 光学和电学性能 | 第32-35页 |
| 3.3.3 本节总结 | 第35-36页 |
| 3.4 不同条件下退火对BZO薄膜特性的影响 | 第36-43页 |
| 3.4.1 不同退火时间对BZO薄膜光学电学性能的影响 | 第37-39页 |
| 3.4.2 不同退火温度对BZO薄膜光学电学性能的影响 | 第39-40页 |
| 3.4.3 不同退火气氛对BZO薄膜光学电学性能的影响 | 第40-42页 |
| 3.4.4 本节总结 | 第42-43页 |
| 第4章 LPCVD法在不同衬底上制备ZnO:B薄膜及电池性能的研究 | 第43-56页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 PI衬底柔性透明硅薄膜太阳能电池的制备及性能 | 第43-49页 |
| 4.2.1 BZO薄膜的微观形貌 | 第45页 |
| 4.2.2 BZO薄膜的透光性能 | 第45-46页 |
| 4.2.3 BZO薄膜的电学性能 | 第46-47页 |
| 4.2.4 PI衬底a-Si:H薄膜太阳能电池性能 | 第47-48页 |
| 4.2.5 本节小结 | 第48-49页 |
| 4.3 柔性玻璃衬底ZnO:B薄膜的制备及电池性能的研究 | 第49-56页 |
| 4.3.1 实验条件 | 第49-50页 |
| 4.3.2 BZO薄膜的微观形貌 | 第50页 |
| 4.3.3 BZO薄膜的光学性能和电学性能 | 第50-52页 |
| 4.3.4 性玻璃衬a-Si:H薄膜太阳能电池性能 | 第52-55页 |
| 4.3.5 本节小结 | 第55-56页 |
| 第5章 总结 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-65页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第65页 |
