高精度平面光栅干涉仪的设计与研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究工作的背景与意义 | 第10-12页 |
| 1.2 光栅测量系统的发展现状及趋势 | 第12-21页 |
| 1.2.1 激光干涉仪与光栅干涉仪 | 第12-14页 |
| 1.2.2光栅位移测量技术概述 | 第14-20页 |
| 1.2.3 光栅干涉仪误差分析概述 | 第20-21页 |
| 1.3 课题研究的来源、目的及内容 | 第21页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第21-22页 |
| 第二章 平面光栅干涉仪的原理与设计方法 | 第22-32页 |
| 2.1 工件台测量需求 | 第22-24页 |
| 2.2 设计方法总结 | 第24-30页 |
| 2.2.1 干涉信息的有效利用 | 第24-27页 |
| 2.2.2 衍射光束的选择 | 第27页 |
| 2.2.3 光学倍程的选择 | 第27-28页 |
| 2.2.4 相位探测的选择 | 第28-29页 |
| 2.2.5 偏振与干涉 | 第29页 |
| 2.2.6 光斑重合度 | 第29-30页 |
| 2.2.7 小型化设计 | 第30页 |
| 2.3 原理设计方案 | 第30-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 光栅干涉仪相关误差研究 | 第32-51页 |
| 3.1 光栅干涉仪混叠误差研究 | 第32-44页 |
| 3.1.1 混叠误差的来源与影响 | 第32-34页 |
| 3.1.2 混叠误差的建模 | 第34-37页 |
| 3.1.3 仿真结果及分析 | 第37-40页 |
| 3.1.4 实验验证 | 第40-44页 |
| 3.2 光栅干涉仪对齐误差分析 | 第44-50页 |
| 3.2.1 对齐误差来源与影响 | 第44-45页 |
| 3.2.2 对齐误差建模 | 第45-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 光栅干涉仪测量系统的结构设计与实现 | 第51-61页 |
| 4.1. 总述 | 第51页 |
| 4.2 设计目标与原理 | 第51-52页 |
| 4.3 三自由度光栅干涉仪详细设计 | 第52-60页 |
| 4.3.1 光栅选型 | 第52-53页 |
| 4.3.2 折光元件选型 | 第53-55页 |
| 4.3.3 偏振分光镜选型 | 第55页 |
| 4.3.4 准直器设计 | 第55-57页 |
| 4.3.5 光栅干涉仪光学结构设计 | 第57-58页 |
| 4.3.6 光栅干涉仪机械结构设计 | 第58-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 新型光栅干涉仪实验与结果分析 | 第61-74页 |
| 5.1 分辨率与稳定性实验 | 第61-63页 |
| 5.1.1 实验装置 | 第61-62页 |
| 5.1.2 实验结果与分析 | 第62-63页 |
| 5.2 精度与重复精度实验 | 第63-66页 |
| 5.2.1 实验装置 | 第63-64页 |
| 5.2.2 实验结果与分析 | 第64-66页 |
| 5.3 综合测试 | 第66-73页 |
| 5.3.1 实验装置 | 第66-68页 |
| 5.3.2 实验结果及分析 | 第68-73页 |
| 5.4 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-77页 |
| 6.1 本论文主要工作总结 | 第74页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第74-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第83页 |
