| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题来源及背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-18页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第14-17页 |
| 1.2.3 研究目的及意义 | 第17-18页 |
| 1.3 本课题主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 电容式硅微机械陀螺工作原理 | 第19-28页 |
| 2.1 科里奥利原理 | 第19-21页 |
| 2.2 微机械陀螺传感器结构及原理 | 第21-23页 |
| 2.3 电容式微机械陀螺静电驱动分析 | 第23-24页 |
| 2.4 驱动模态动力学分析 | 第24-25页 |
| 2.5 自激驱动工作原理 | 第25-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 微机械陀螺模型的建立及行为级仿真验证分析 | 第28-38页 |
| 3.1 微机械陀螺驱动模态等效电学模型 | 第28-31页 |
| 3.2 等效电学模型仿真验证 | 第31-32页 |
| 3.3 闭环驱动电路Matlab行为级建模及仿真验证分析 | 第32-37页 |
| 3.3.1 电荷泵锁相环的线性模型以及环路参数确定 | 第32-34页 |
| 3.3.2 Matlab建模及行为级仿真验证 | 第34-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 硅微机械陀螺闭环驱动电路设计与分析 | 第38-60页 |
| 4.1 基于锁相原理的闭环驱动电路 | 第38-39页 |
| 4.2 C-V转换电路设计 | 第39页 |
| 4.3 移相电路设计 | 第39-40页 |
| 4.4 比较器设计 | 第40-42页 |
| 4.5 锁相电路设计 | 第42-52页 |
| 4.5.1 鉴频鉴相器设计 | 第42-44页 |
| 4.5.2 电荷泵以及环路滤波设计 | 第44-46页 |
| 4.5.3 压控振荡器设计 | 第46-50页 |
| 4.5.4 分频电路设计 | 第50-52页 |
| 4.6 运算放大器设计 | 第52-54页 |
| 4.7 完整闭环驱动电路仿真验证 | 第54-56页 |
| 4.8 锁相环电路版图设计及后仿真 | 第56-58页 |
| 4.9 本章小结 | 第58-60页 |
| 结论 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-66页 |
| 致谢 | 第66页 |