| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 太赫兹波及其特点 | 第10-11页 |
| 1.2 太赫兹探测器 | 第11-14页 |
| 1.3 薄膜的制备方法 | 第14-16页 |
| 1.3.1 溅射法 | 第14页 |
| 1.3.2 蒸发沉积法 | 第14页 |
| 1.3.3 脉冲激光沉积法 | 第14-15页 |
| 1.3.4 金属有机物热分解法 | 第15页 |
| 1.3.5 金属有机化学气相沉积法 | 第15页 |
| 1.3.6 溶胶凝胶法 | 第15-16页 |
| 1.4 主要研究内容和工作安排 | 第16-18页 |
| 第二章 太赫兹热释电薄膜探测器件设计 | 第18-32页 |
| 2.1 热释电材料选择 | 第19-21页 |
| 2.2 薄膜制备方法的比较与选择 | 第21-22页 |
| 2.3 热释电探测器的工作原理 | 第22-24页 |
| 2.4 热释电探测器的主要性能 | 第24-31页 |
| 2.4.1 热释电响应 | 第24-28页 |
| 2.4.2 热释电探测器的噪声 | 第28-30页 |
| 2.4.3 热释电探测器的探测度和噪声等效温差 | 第30页 |
| 2.4.4 热释电材料优值 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 LiTaO_3薄膜的制备及其性能研究 | 第32-52页 |
| 3.1 实验材料的选择及所用仪器 | 第32-33页 |
| 3.2 LiTaO_3薄膜的制备 | 第33-37页 |
| 3.2.1 LiTaO_3胶体的制备 | 第33-34页 |
| 3.2.2 衬底及下电极的制备 | 第34-36页 |
| 3.2.3 薄膜的制备 | 第36-37页 |
| 3.2.4 LiTaO_3薄膜的测试 | 第37页 |
| 3.3 测试实验结果的分析及讨论 | 第37-51页 |
| 3.3.1 LiTaO_3薄膜形貌分析 | 第37-39页 |
| 3.3.2 不同衬底材料对薄膜结晶的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.3 退火温度对LiTaO_3薄膜结晶的影响 | 第40-42页 |
| 3.3.4 退火气氛对LiTaO_3薄膜性能的影响 | 第42-43页 |
| 3.3.5 不同电极对LiTaO_3薄膜介电性能的影响 | 第43-45页 |
| 3.3.6 不同电极对LiTaO_3薄膜铁电及漏电性能的影响 | 第45-49页 |
| 3.3.7 不同电极对LiTaO_3薄膜的热释电系数的影响 | 第49-51页 |
| 3.4 本章总结 | 第51-52页 |
| 第四章 LiTaO_3薄膜热释电探测性能仿真 | 第52-67页 |
| 4.1 LiTaO_3薄膜太赫兹热释电探测器模型的设计 | 第52-54页 |
| 4.2 探测器吸收层的设计 | 第54-58页 |
| 4.3 基于LiTaO_3薄膜热释电探测器的动态热学分析 | 第58-61页 |
| 4.4 基于LiTaO_3薄膜热释电探测器的静态力学分析 | 第61-66页 |
| 4.5 仿真结果分析 | 第66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 5.1 全文总结 | 第67页 |
| 5.2 展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第74-75页 |
