基于光致抗蚀法制作的离子牵引微泵结构设计及性能研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 微泵的种类及性能特点 | 第13-18页 |
| 1.2.1 机械式微泵 | 第13-16页 |
| 1.2.2 非机械式微泵 | 第16-18页 |
| 1.3 离子牵引泵 | 第18-26页 |
| 1.3.1 离子的来源 | 第18-20页 |
| 1.3.2 电流的形成 | 第20-22页 |
| 1.3.3 力学模型 | 第22页 |
| 1.3.4 国内外研究进展 | 第22-26页 |
| 1.4 主要研究目标和研究内容 | 第26-28页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第26页 |
| 1.4.2 研究目标 | 第26页 |
| 1.4.3 研究内容 | 第26-28页 |
| 第二章 电极片的设计与制备 | 第28-39页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 电极结构设计 | 第28-30页 |
| 2.3 电极片的制备 | 第30-35页 |
| 2.3.1 覆铜板的选择 | 第30-31页 |
| 2.3.2 电极图形的刻蚀 | 第31-33页 |
| 2.3.3 电极表面沉金 | 第33-35页 |
| 2.4 电极制备效果的评价 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 电极片 U-I 关系测试及结果分析 | 第39-50页 |
| 3.1 引言 | 第39页 |
| 3.2 实验平台的搭建 | 第39-41页 |
| 3.3 实验准备 | 第41-42页 |
| 3.3.1 液体工质与导线的选用 | 第41-42页 |
| 3.3.2 测试装置 | 第42页 |
| 3.4 实验现象及数据处理 | 第42-45页 |
| 3.4.1 电流的波动 | 第42-44页 |
| 3.4.2 数据的处理方法 | 第44-45页 |
| 3.5 结果分析 | 第45-48页 |
| 3.5.1 电压与电流的关系 | 第45-46页 |
| 3.5.2 U-I 关系影响因素分析 | 第46-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 离子牵引微泵的数值模拟 | 第50-59页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 有限元建模 | 第50-54页 |
| 4.2.1 COMSOL 软件简介 | 第50页 |
| 4.2.2 离子牵引微泵数值模型的简化 | 第50-51页 |
| 4.2.3 求解方程 | 第51-52页 |
| 4.2.4 软件的实现 | 第52-54页 |
| 4.3 数值结果与分析 | 第54-58页 |
| 4.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 电极结构对微泵性能的影响 | 第59-71页 |
| 5.1 引言 | 第59页 |
| 5.2 离子牵引微泵结构设计 | 第59-60页 |
| 5.3 泵压的测量 | 第60-63页 |
| 5.3.1 测量装置 | 第60-61页 |
| 5.3.2 计算方法 | 第61页 |
| 5.3.3 结果与分析 | 第61-63页 |
| 5.4 流量的测量 | 第63-69页 |
| 5.4.1 测量装置 | 第63-64页 |
| 5.4.2 计算方法 | 第64-65页 |
| 5.4.3 结果与分析 | 第65-69页 |
| 5.5 微泵功率及效率 | 第69页 |
| 5.6 本章小结 | 第69-71页 |
| 结论 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |
| 附件 | 第81页 |
