| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.2 刀具涂层的发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 纳米复合涂层的发展历程 | 第11-12页 |
| 1.2.2 纳米复合涂层致硬机理 | 第12-13页 |
| 1.2.3 纳米复合涂层研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 刀具涂层的制备工艺 | 第14-17页 |
| 1.3.1 高功率脉冲与脉冲直流磁控共溅射技术 | 第15-17页 |
| 1.4 CrAlSiN系列涂层研究现状 | 第17-18页 |
| 1.5 本论文研究的内容 | 第18-20页 |
| 第2章 实验方法与性能表征 | 第20-27页 |
| 2.1 实验材料 | 第20-21页 |
| 2.1.1 基体材料与夹具 | 第20-21页 |
| 2.1.2 靶材与气体 | 第21页 |
| 2.2 涂层的制备与沉积工艺 | 第21-23页 |
| 2.2.1 技术路线 | 第21页 |
| 2.2.2 HiPIMS/PulsedDCMS系统 | 第21-22页 |
| 2.2.3 影响薄膜生长的主要因素 | 第22-23页 |
| 2.3 涂层组织结构分析 | 第23-24页 |
| 2.3.1 微观形貌及成分分析 | 第23页 |
| 2.3.2 相组成分析 | 第23-24页 |
| 2.4 涂层力学性能表征 | 第24-25页 |
| 2.4.1 硬度及弹性模量 | 第24-25页 |
| 2.4.2 残余应力 | 第25页 |
| 2.5 涂层摩擦学性能表征 | 第25-27页 |
| 2.5.1 磨痕形貌 | 第25-26页 |
| 2.5.2 摩擦系数 | 第26-27页 |
| 第3章 不同基体偏压对CrAlN涂层结构和性能的影响 | 第27-38页 |
| 3.1 引言 | 第27-28页 |
| 3.2 涂层制备 | 第28-29页 |
| 3.3 结果与分析 | 第29-37页 |
| 3.3.1 涂层厚度 | 第29-30页 |
| 3.3.2 结构分析 | 第30-31页 |
| 3.3.3 力学性能影响 | 第31-33页 |
| 3.3.4 摩擦学性能影响 | 第33-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 不同N2/Ar对CrAlSiN涂层结构和性能的影响 | 第38-50页 |
| 4.1 引言 | 第38-39页 |
| 4.2 涂层制备 | 第39-40页 |
| 4.3 结果与分析 | 第40-48页 |
| 4.3.1 沉积速率影响 | 第40页 |
| 4.3.2 微观结构与形貌 | 第40-43页 |
| 4.3.3 力学性能 | 第43-45页 |
| 4.3.4 摩擦学性能 | 第45-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第5章 不同SiAl靶功率对CrAlSiN涂层结构和性能的影响 | 第50-61页 |
| 5.1 引言 | 第50-51页 |
| 5.2 涂层制备 | 第51-52页 |
| 5.3 结果与分析 | 第52-60页 |
| 5.3.1 沉积速率影响 | 第52页 |
| 5.3.2 结构与形貌影响 | 第52-55页 |
| 5.3.3 力学性能影响 | 第55-57页 |
| 5.3.4 摩擦学性能影响 | 第57-60页 |
| 5.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 结论与展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读学位期间发表论文以及参加会议和项目 | 第69页 |
