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铜铟镓硒薄膜太阳能电池CIGS吸收层的研究与制备

论文摘要第1-7页
ABSTRACT第7-9页
目录第9-11页
第一章 绪论第11-18页
   ·能源危机与太阳能利用第11-13页
   ·太阳能电池综述第13-15页
   ·CIGS太阳能电池第15-16页
   ·本论文的研究内容和意义第16-18页
第二章 CIGS电池的结构、工作原理及性能参数第18-28页
   ·CIGS太阳能电池的结构第18-20页
   ·CIGS太阳能电池的工作原理与性能参数第20-23页
     ·太阳能电池的工作原理第20页
     ·太阳能电池的性能参数第20-23页
   ·薄膜测试仪器第23-28页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第23-24页
     ·台阶仪(profiler)第24-25页
     ·UV-VIS分光光度计第25-26页
     ·霍尔效应测试仪第26-27页
     ·四探针测试仪第27-28页
第三章 磁控溅射法制备CuIn与CuInGa薄膜及其性能研究第28-42页
   ·磁控溅射的原理与设备简介第28-30页
   ·利用磁控溅射法制备CuIn薄膜及其形貌、结构表征第30-38页
     ·衬底的选择、清洗与钼电极层的制备第30-31页
     ·不同条件下制备CuIn薄膜及其表征第31-38页
   ·利用磁控溅射法制备CuInGa薄膜及其形貌、结构的表征第38-41页
   ·本章小结第41-42页
第四章 利用CVD系统硒化制备CIGS薄膜的研究第42-58页
   ·化学气相沉积的原理简介与设备简介第42-43页
   ·利用CVD系统对CuInGa薄膜进行硒化处理制备CIGS薄膜第43-47页
   ·硒化法制备的CIGS薄膜的结构、形貌分析与性能第47-51页
   ·CIGS太阳能电池的缓冲层、窗口层和电极的制备与电池的测试表征第51-57页
     ·CdS缓冲层的制备第51-52页
     ·氧化锌窗口层和栅电极的制备第52-54页
     ·CIGS太阳能电池的测试与表征第54-57页
   ·本章小结第57-58页
第五章 总结与展望第58-59页
参考文献第59-65页
附作者已发表的文章和申请专利第65-66页
致谢第66-67页

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