硅烷流化床法生产粒状多晶硅的数值模拟
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-27页 |
| 1.1 多晶硅行业发展概况 | 第9-11页 |
| 1.1.1 国外多晶硅行业发展概况 | 第9-10页 |
| 1.1.2 国内多晶硅行业发展概况 | 第10-11页 |
| 1.2 多晶硅生产工艺概况 | 第11-16页 |
| 1.2.1 改良西门子法 | 第11-13页 |
| 1.2.2 冶金法 | 第13页 |
| 1.2.3 硅烷法 | 第13-15页 |
| 1.2.4 气液沉积法 | 第15-16页 |
| 1.3 硅烷流化床研究进展 | 第16-22页 |
| 1.3.1 硅烷流化床工艺简介 | 第16-18页 |
| 1.3.2 硅烷流化床关键工艺参数 | 第18-20页 |
| 1.3.3 硅烷流化床技术研究现状 | 第20-22页 |
| 1.4 气固两相流的数值模拟 | 第22-25页 |
| 1.4.1 计算流体力学概述 | 第22-23页 |
| 1.4.2 欧拉双流体模型 | 第23-24页 |
| 1.4.3 粒群衡算模型 | 第24-25页 |
| 1.5 论文研究内容 | 第25-27页 |
| 第2章 硅烷热解的反应动力学 | 第27-37页 |
| 2.1 反应动力学概述 | 第27页 |
| 2.2 硅烷的性质 | 第27-29页 |
| 2.2.1 硅烷的物理性质 | 第27-28页 |
| 2.2.2 硅烷的化学性质 | 第28-29页 |
| 2.3 硅烷热解的反应机理 | 第29-32页 |
| 2.3.1 气相反应机理 | 第29-31页 |
| 2.3.2 表面反应机理 | 第31-32页 |
| 2.4 硅烷热解的反应动力学模型 | 第32-35页 |
| 2.4.1 一步集总反应模型 | 第32-33页 |
| 2.4.2 多步集总反应模型 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 硅烷流化床的动力学模型对比 | 第37-61页 |
| 3.1 模拟思路 | 第37-38页 |
| 3.2 硅烷流化床模型建立 | 第38-45页 |
| 3.2.1 物理模型 | 第38-39页 |
| 3.2.2 数学模型 | 第39-45页 |
| 3.3 模型设置 | 第45-46页 |
| 3.3.1 流化床特性参数 | 第45页 |
| 3.3.2 数值方法和边界条件 | 第45-46页 |
| 3.4 模拟结果分析与讨论 | 第46-59页 |
| 3.4.1 模型检验 | 第46-54页 |
| 3.4.2 不同反应动力学模型对比 | 第54-59页 |
| 3.5 本章小结 | 第59-61页 |
| 第4章 工业级硅烷流化床反应器的数值模拟 | 第61-73页 |
| 4.1 概述 | 第61页 |
| 4.2 工业级流化床反应器的模型建立 | 第61-64页 |
| 4.2.1 物理模型 | 第61-62页 |
| 4.2.2 数学模型 | 第62-63页 |
| 4.2.3 数值方法和边界条件 | 第63页 |
| 4.2.4 模型验证 | 第63-64页 |
| 4.3 模拟结果与分析 | 第64-72页 |
| 4.3.1 颗粒团聚对硅沉积速率的影响 | 第64-66页 |
| 4.3.2 壁面沉积对硅沉积速率的影响 | 第66-68页 |
| 4.3.3 进气组成对硅沉积速率的影响 | 第68-70页 |
| 4.3.4 进气速度对硅沉积速率的影响 | 第70-71页 |
| 4.3.5 反应温度对硅沉积速率的影响 | 第71-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 结论与展望 | 第73-75页 |
| 5.1 结论 | 第73-74页 |
| 5.2 展望 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-82页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
